| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·Fe-Zr-B-Cu 非晶合金及其研究进展 | 第7-11页 |
| ·Fe-Zr-B-Cu 非晶合金的巨磁阻抗效应 | 第7-8页 |
| ·Fe-Zr-B-Cu 非晶合金薄膜的制备 | 第8-10页 |
| ·Fe-Zr-B-Cu 非晶合金薄膜的应用形式 | 第10-11页 |
| ·Fe-Zr-B-Cu 非晶合金薄膜的研究焦点 | 第11页 |
| ·课题的目的与创新 | 第11-12页 |
| ·课题的主要技术路线 | 第12-13页 |
| 2 Fe-Zr-B-Cu 非晶合金靶材的制备及其性能测试 | 第13-19页 |
| ·实验用材 | 第13-14页 |
| ·合金靶材成分设计 | 第13页 |
| ·原料成分 | 第13页 |
| ·合金靶材制备 | 第13-14页 |
| ·合金靶材性能检测 | 第14-15页 |
| ·溅射前后靶材硬度检测 | 第14页 |
| ·靶材组织SEM 分析 | 第14-15页 |
| ·合金靶的成分设计探讨 | 第15-16页 |
| ·FeZrBCu 合金靶材溅射效果分析 | 第16-19页 |
| 3 Fe-Zr-B-Cu 非晶合金薄膜的制备及其性能测试 | 第19-26页 |
| ·Fe-Zr-B-Cu 非晶合金薄膜的制备 | 第19-20页 |
| ·基片的预处理 | 第19页 |
| ·薄膜的制备工艺及其优化 | 第19-20页 |
| ·Fe-Zr-B-Cu 非晶合金薄膜制备工艺参数对沉积速率的影响 | 第20-26页 |
| ·正交实验结果与讨论 | 第20-21页 |
| ·不同工艺参数下所制取薄膜的XRD 与TEM 分析 | 第21-22页 |
| ·各溅射工艺参数对薄膜沉积速率影响效果的分析 | 第22-26页 |
| 4 FeZrBCu 非晶合金薄膜组织与结构 | 第26-36页 |
| ·FeZrBCu 非晶合金薄膜的结构 | 第26-27页 |
| ·沉积条件对FeZrBCu 非晶合金薄膜的微观组织与形貌的影响 | 第27-36页 |
| ·靶基距对薄膜形貌的影响 | 第27-29页 |
| ·溅射功率对薄膜形貌的影响 | 第29页 |
| ·衬底偏压对薄膜表面形貌的影响 | 第29-33页 |
| ·退火温度对显微硬度的影响 | 第33-36页 |
| 5 结论 | 第36-37页 |
| 致谢 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-40页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第40页 |
