硅基微光机械加速度地震检波器的研制
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引论 | 第7页 |
| ·地震勘探技术的背景 | 第7-8页 |
| ·MOEMS 技术 | 第8-11页 |
| ·MOEMS 技术背景 | 第8-9页 |
| ·MOEMS 器件特点及应用 | 第9-10页 |
| ·微机电系统的工艺研究 | 第10-11页 |
| ·MOEMS 技术研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文主要研究工作 | 第12-13页 |
| 第二章 光波导传感器的工作原理 | 第13-24页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·光波导传感器分类 | 第14-16页 |
| ·光强度调制型 | 第14页 |
| ·相位调制型 | 第14-15页 |
| ·偏振态调制型 | 第15-16页 |
| ·波长调制型 | 第16页 |
| ·频率调制型 | 第16页 |
| ·M－Z 干涉型相位调制传感器及其传感原理 | 第16-23页 |
| ·干涉原理 | 第17-18页 |
| ·M－Z 波导干涉仪 | 第18-19页 |
| ·相位调制型传感器传感原理 | 第19-22页 |
| ·波导的应变效应 | 第20页 |
| ·波导的光弹效应 | 第20-22页 |
| ·光相位调制方法 | 第22-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 第三章 地震检波器系统的设计与仿真 | 第24-45页 |
| ·概述 | 第24页 |
| ·十字梁简谐振子形变分析与结构设计 | 第24-28页 |
| ·大跨度M－Z 光波导结构设计 | 第28-40页 |
| ·光波导射线理论 | 第28-32页 |
| ·光波导电磁理论 | 第32-34页 |
| ·单模波导设计 | 第34-37页 |
| ·Y 分支波导设计 | 第37-39页 |
| ·波导转向镜设计 | 第39-40页 |
| ·BPM 原理和仿真 | 第40-43页 |
| ·波导偏振器设计 | 第43-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第四章 检波器的制作工艺 | 第45-61页 |
| ·简介 | 第45页 |
| ·大跨度M－Z 波导干涉仪的制作及通光测试 | 第45-53页 |
| ·分支波导的制作 | 第47-49页 |
| ·清洗 | 第47页 |
| ·光刻 | 第47-48页 |
| ·溅射 | 第48-49页 |
| ·剥离 | 第49页 |
| ·波导反射镜的制作 | 第49-51页 |
| ·M－Z 波导干涉仪通光测试 | 第51-53页 |
| ·十字梁结构简谐振子的制作工艺 | 第53-60页 |
| ·SiO_2 薄膜的生长 | 第54-55页 |
| ·SiO_2 薄膜的腐蚀 | 第55-56页 |
| ·硅的各向异性腐蚀 | 第56-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 发表论文及参加科研情况说明 | 第67-68页 |
| 附录 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
