| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-22页 |
| ·非平衡态的简单介绍 | 第12页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第12-15页 |
| ·ZnO的结构 | 第12-14页 |
| ·Er和Yb掺杂ZnO | 第14-15页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第15-19页 |
| ·紫外光探测器 | 第15-16页 |
| ·太阳能电池 | 第16页 |
| ·与GaN互作缓冲层 | 第16页 |
| ·气敏和压敏器件 | 第16-17页 |
| ·其他用途 | 第17-19页 |
| 参考文献 | 第19-22页 |
| 第二章 薄膜的制备方法 | 第22-35页 |
| ·分子束外延 | 第22-23页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第23页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第23-24页 |
| ·电子束蒸镀法 | 第24-25页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第25-26页 |
| ·磁控溅射技术 | 第26-33页 |
| ·溅射基本理论 | 第26-28页 |
| ·薄膜成核成长 | 第28-30页 |
| ·射频磁控溅射技术 | 第30-33页 |
| 参考文献 | 第33-35页 |
| 第3章 薄膜的制备及检测 | 第35-47页 |
| ·薄膜的制备 | 第35-37页 |
| ·基底的清洗 | 第35-36页 |
| ·薄膜的制备 | 第36-37页 |
| ·薄膜的检测仪器 | 第37-46页 |
| ·X射线衍射仪 | 第37-42页 |
| ·原子力显微镜 | 第42-46页 |
| 参考文献 | 第46-47页 |
| 第4章 结果与讨论 | 第47-75页 |
| ·Er/Yb/Al掺杂ZnO薄膜的结构与形貌的研究 | 第47-51页 |
| ·实验过程 | 第47页 |
| ·实验结果及分析讨论 | 第47-51页 |
| ·结论 | 第51页 |
| ·氧氩比对Er掺杂ZnO薄膜的影响 | 第51-62页 |
| ·实验过程 | 第51-52页 |
| ·实验结果及分析讨论 | 第52-61页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| ·衬底温度对Er掺杂ZnO薄膜的影响 | 第62-73页 |
| ·实验过程 | 第62页 |
| ·实验结果及分析讨论 | 第62-72页 |
| ·结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 第5章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·主要结论 | 第75-76页 |
| ·工作展望 | 第76-77页 |
| 后记 | 第77-78页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第78页 |