| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 前言 | 第9-31页 |
| ·碳氮薄膜的研究现状 | 第9-25页 |
| ·碳氮薄膜的制备和表征 | 第25-26页 |
| ·存在问题及分析 | 第26-29页 |
| ·本论文的主要工作 | 第29-31页 |
| 第二章 碳氮薄膜的制备、热处理和结构表征 | 第31-39页 |
| ·碳氮薄膜的制备 | 第31-35页 |
| ·样品的退火处理 | 第35页 |
| ·碳氮薄膜的结构表征和力学性质的测量 | 第35-39页 |
| 第三章 碳氮薄膜的形貌、成分和微观结构 | 第39-81页 |
| ·碳氮薄膜的表面形貌 | 第39-48页 |
| ·研究背景 | 第39-41页 |
| ·制备态碳氮薄膜的表面形貌 | 第41页 |
| ·退火碳氮薄膜表面形貌的影响 | 第41-44页 |
| ·纯碳薄膜的表面形貌 | 第44-48页 |
| ·碳氮薄膜的成分和微观结构 | 第48-79页 |
| ·氮气分压系列碳氮薄膜的成分和微观结构 | 第48-60页 |
| ·退火对薄膜成分和微观结构的影响 | 第60-79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 第四章 Ni 掺杂碳氮薄膜的微观结构 | 第81-101页 |
| ·Ni 掺杂对碳氮薄膜表面形貌的影响 | 第81页 |
| ·在不同退火温度下Ni 掺杂对碳氮薄膜微观结构的影响 | 第81-95页 |
| ·退火时间对 Ni 掺杂碳氮薄膜的微观结构的影响 | 第95-97页 |
| ·Ni 掺杂对不同结构的碳氮薄膜的影响 | 第97-99页 |
| ·本章小节 | 第99-101页 |
| 第五章 非晶态碳氮薄膜的力学性质 | 第101-115页 |
| ·力学性质的测量原理 | 第101-105页 |
| ·准静态方法的测量结果 | 第105-109页 |
| ·连续刚性测量技术(CSM)的测量结果 | 第109-110页 |
| ·氮气分压对薄膜力学性质的影响 | 第110-113页 |
| ·本章小结 | 第113-115页 |
| 第六章 总结 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-129页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第129-131页 |
| 致谢 | 第131页 |