| 1 绪论 | 第1-13页 |
| ·工程背景 | 第7-8页 |
| ·研究微小波象差标准装置的意义及国内外发展动态 | 第8页 |
| ·微小波象差标准装置的应用前景 | 第8-9页 |
| ·研制微小波象差标准装置的技术难点 | 第9-11页 |
| ·本论文必须解决的问题 | 第11-13页 |
| 2 微小波象差标准装置的测量原理与仪器介绍 | 第13-22页 |
| ·微小波象差标准装置的测量原理 | 第13-17页 |
| ·光的干涉原理 | 第13页 |
| ·斐索干涉仪的测量原理 | 第13-17页 |
| ·微小波象差标准装置主机光学原理 | 第17-18页 |
| ·微小波象差标准装置工作过程 | 第18-22页 |
| 3 微小波象差标准装置的结构设计与研究 | 第22-47页 |
| ·微小波象差标准装置的主机设计与分析 | 第22-32页 |
| ·CMOS组件的设计 | 第26-27页 |
| ·主光路组件的设计 | 第27页 |
| ·激光反射架组件的设计 | 第27-28页 |
| ·移动平台组件的设计 | 第28-30页 |
| ·压电晶体组件设计 | 第30-31页 |
| ·提高主机整体刚性 | 第31-32页 |
| ·微小波象差标准装置的系列标准镜头设计与研究 | 第32-40页 |
| ·F1.5标准镜头设计与分析 | 第32-35页 |
| ·F3和F5标准镜头设计与分析 | 第35-38页 |
| ·F11标准镜头设计与分析 | 第38-39页 |
| ·标准镜头与主机的快速联接设计 | 第39-40页 |
| ·微小波象差标准装置的支架设计与分析 | 第40页 |
| ·z轴方向的一维粗微调设计 | 第41-40页 |
| ·微小波象差标准装置的支架设计与分析 | 第40-43页 |
| ·z轴方向的一维粗微调设计 | 第41-43页 |
| ·四维微调机构设计 | 第43页 |
| ·微小波象差标准装置的总体安装与调整 | 第43-47页 |
| ·提高主机与支架的连接精度与刚度 | 第43-44页 |
| ·平衡四维调整架重力及主机内移动平台重力的措施 | 第44-47页 |
| 4 整机的可靠性计算 | 第47-55页 |
| ·故障树的建立 | 第47-49页 |
| ·可靠性故障树分析 | 第49-55页 |
| 5 结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 附录A 主机装配图 | 第59-60页 |
| 附录B 微小光学系统波象差标准装置产品成果鉴定证书 | 第60-63页 |