| 全文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·课题的研究背景及研究意义 | 第7-9页 |
| ·微制造平台隔振系统核心技术发展现状 | 第9-10页 |
| ·隔振系统主动控制技术的研究现状评述 | 第10-15页 |
| ·主动隔振概述 | 第11-13页 |
| ·振动主动控制的基本方法 | 第13-15页 |
| ·本学位论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 基于SMR模型的隔振平台功率流传递动力学分析 | 第17-50页 |
| ·引言 | 第17-19页 |
| ·SMR理论模型概述 | 第17-18页 |
| ·振动功率流传递概述 | 第18-19页 |
| ·功率流分析的相关基本概念 | 第19-24页 |
| ·功率流的定义 | 第19-20页 |
| ·导纳法 | 第20-24页 |
| ·机械波的一些基本概念 | 第24页 |
| ·基于SMR模型的主动隔振系统动力学分析 | 第24-49页 |
| ·SMR系统一般模型 | 第25-31页 |
| ·多自由度双隔振器的隔振系统功率流仿真分析 | 第31-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第三章 基于仿生学的微制造隔振平台设计 | 第50-57页 |
| ·微制造隔振平台仿生结构设计 | 第50-56页 |
| ·仿生学概论 | 第50页 |
| ·仿生学研究方法和工程实例 | 第50-52页 |
| ·微制造隔振平台仿生结构设计 | 第52-53页 |
| ·致动器安装的合理性分析 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 微制造隔振平台控制系统的设计及仿真研究 | 第57-74页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·微制造隔振平台控制系统的动力学模型 | 第57-59页 |
| ·微制造隔振平台主动控制系统的设计 | 第59-60页 |
| ·微制造隔振平台模糊主动控制系统仿真研究 | 第60-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 微制造平台隔振控制系统的实验研究 | 第74-85页 |
| ·引言 | 第74页 |
| ·微制造隔振平台控制系统软件设计 | 第74-75页 |
| ·微制造隔振平台控制系统硬件设计 | 第75-80页 |
| ·PCL812数据采集卡 | 第77-78页 |
| ·功率放大系统 | 第78-79页 |
| ·致动器 | 第79-80页 |
| ·微制造隔振平台主动控制系统实验结果及分析 | 第80-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 结论及展望 | 第85-87页 |
| ·主要结论 | 第85-86页 |
| ·展望 | 第86-87页 |
| 附录Ⅰ 基本数学概念 | 第87-90页 |
| 附录Ⅱ 攻读硕士学位论文期间参加的科研项目及发表(录用)的学术论文 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-95页 |