准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-26页 |
| ·纳米技术与微机电系统 | 第9-15页 |
| ·纳米技术 | 第9-13页 |
| ·微机电系统 | 第13-15页 |
| ·MEMS的特征及其关键问题 | 第15-18页 |
| ·MEMS的特征 | 第15-16页 |
| ·MEMS的关键问题 | 第16-18页 |
| ·微观摩擦与表面形貌 | 第18-24页 |
| ·微观摩擦与宏观摩擦 | 第18-20页 |
| ·微观摩擦与表面形貌 | 第20-24页 |
| ·本文研究的主要内容与创新点 | 第24-26页 |
| 第2章 准分子激光微细加工技术研究 | 第26-45页 |
| ·微细加工技术概述 | 第26-31页 |
| ·微细加工技术 | 第26-29页 |
| ·激光加工技术 | 第29-31页 |
| ·准分子激光加工技术 | 第31-36页 |
| ·准分子激光加工的应用 | 第32-34页 |
| ·准分子激光加工的原理 | 第34-36页 |
| ·准分子激光加工系统 | 第36-39页 |
| ·准分子激光加工实验 | 第39-42页 |
| ·影响准分子激光加工表面形貌的主要因素 | 第42-44页 |
| ·光斑内的能量分布 | 第42-43页 |
| ·激光的多次照射 | 第43页 |
| ·工件材料 | 第43-44页 |
| ·准分子激光的其它加工 | 第44页 |
| 本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 准分子激光加工表面形貌测试与数据处理方法 | 第45-74页 |
| ·表面形貌测试技术 | 第45-47页 |
| ·表面形貌表征方法 | 第47-50页 |
| ·表面形貌测试及其统计参数计算 | 第50-55页 |
| ·表面形貌图像测试 | 第50-51页 |
| ·表面形貌轮廓测试 | 第51-52页 |
| ·表面形貌统计参数计算 | 第52-55页 |
| ·表面形貌图像三维数字化处理 | 第55-66页 |
| ·图像数字化处理技术 | 第55-60页 |
| ·表面形貌图像三维数字化处理 | 第60-66页 |
| ·典型结果 | 第66-73页 |
| 本章小结 | 第73-74页 |
| 第4章 准分子激光加工表面形貌特征与工艺的相关性 | 第74-94页 |
| ·概述 | 第74-75页 |
| ·准分子激光加工表面微观形貌特征 | 第75-87页 |
| ·不同激光扫描速度的表面形貌特征 | 第76-79页 |
| ·不同激光器放大电压的表面形貌特征 | 第79-80页 |
| ·不同激光脉冲频率的表面形貌特征 | 第80-82页 |
| ·不同激光脉冲个数的表面形貌特征 | 第82-85页 |
| ·不同激光扫描次数的表面形貌特征 | 第85-86页 |
| ·不同材料的表面微观形貌特征 | 第86-87页 |
| ·准分子激光工艺参数与表面微观形貌的相关性 | 第87-93页 |
| ·激光扫描速度与表面形貌的相关性 | 第87-90页 |
| ·激光扫描次数与表面形貌的相关性 | 第90-91页 |
| ·激光脉冲频率与表面形貌的相关性 | 第91-92页 |
| ·激光器放大电压与表面形貌的相关性 | 第92-93页 |
| 本章小结 | 第93-94页 |
| 第5章 微摩擦测试装置设计与测试系统分析 | 第94-104页 |
| ·微摩擦试验的特点 | 第94-95页 |
| ·微摩擦测试装置的总体构成 | 第95-96页 |
| ·微力测试系统设计 | 第96-101页 |
| ·测力传感元件设计 | 第96-100页 |
| ·曲线标定分析 | 第100-101页 |
| ·测力加载方式分析 | 第101页 |
| ·测力程序设计 | 第101-102页 |
| 本章小结 | 第102-104页 |
| 第6章 结论与展望 | 第104-106页 |
| 参考文献 | 第106-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 学习期间参加的课题和发表的论文 | 第114-116页 |
