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Fe基软硬磁薄膜的制备及物性分析

摘要第1-6页
Abstract第6-8页
第一章 绪论第8-19页
   ·磁记录技术第8-12页
     ·磁记录原理第8-9页
     ·两种磁记录方式第9-12页
   ·L1_0-FePt的基本性质及研究进展第12-16页
       ·L1_0-FePt结构及性质第12-13页
       ·L1_0-FePt研究进展及遇到的问题第13-16页
   ·隧穿磁电阻效应第16-18页
   ·本论文选题意义与研究内容第18-19页
第二章 薄膜的制备与表征第19-27页
   ·薄膜材料的制备第19-23页
     ·薄膜的定义第19页
     ·薄膜材料的特点第19页
     ·薄膜的生长过程以及生长模式第19-20页
     ·磁控溅射第20-22页
     ·电阻加热蒸发第22页
     ·电子束蒸发法第22-23页
   ·薄膜的表征第23-27页
     ·薄膜晶体结构的分析第23页
     ·薄膜磁特性的分析第23-25页
     ·薄膜膜厚的测量第25-26页
     ·薄膜表面形貌测量第26-27页
第三章 利用FeAl下底层降低FePt薄膜的有序化温度第27-42页
   ·L1_0结构的FePt薄膜的制备第27页
   ·结果与讨论第27-41页
     ·FeAl下底层的制备与性质第27-31页
     ·MgO中间层对FeAl下底层的形貌影响第31-33页
     ·L1_0相FePt薄膜的形成第33-34页
     ·MgO(001)基片/FeAl(100nm,Ta)/MgO(ynm)/FePt(xnm)薄膜的形貌第34-37页
     ·MgO(001)基片/FeAl(Ta)/MgO(ynm)/FePt(xnm)薄膜磁性分析第37-40页
     ·FePt薄膜有序化温度降低的原因分析第40-41页
   ·本章小结第41-42页
第四章 FeCo/MgO/Fe磁性隧道结的制备与性质第42-46页
   ·基片清洗第42页
   ·样品制备与表征第42-43页
   ·实验结果与讨论第43-45页
   ·本章小结第45-46页
第五章 结论第46-47页
参考文献第47-53页
致谢第53-54页
攻读硕士学位期间发表的署名学术论文第54页

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