三轴向电容式矢量水听器的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·概述 | 第9页 |
| ·矢量水听器简介 | 第9-13页 |
| ·矢量水听器国内外发展现状 | 第9-12页 |
| ·矢量水听器的技术特点及应用 | 第12-13页 |
| ·MEMS加速度传感器简介 | 第13-16页 |
| ·MEMS加速度传感器的国内外发展现状及分类 | 第13-15页 |
| ·MEMS的计算机辅助技术 | 第15-16页 |
| ·本论文的主要内容 | 第16-17页 |
| 第2章 电容同振式矢量水听器工作原理 | 第17-37页 |
| ·同振球形矢量水听器的检测原理 | 第17-24页 |
| ·同振球形矢量水听器振速通道检测原理 | 第17-20页 |
| ·影响矢量水听器测量的因素 | 第20-21页 |
| ·矢量水听器的灵敏度与指向性 | 第21-24页 |
| ·声压通道的检测原理 | 第24-26页 |
| ·球形振速水听器的散射对声压通道的影响 | 第24-25页 |
| ·声压通道测量原理及制约因素 | 第25-26页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器的工作原理 | 第26-36页 |
| ·间隙变化型电容式加速度计的检测原理 | 第27-29页 |
| ·差动电容式加速度计的检测原理 | 第29-30页 |
| ·电容式加速度计的数学模型 | 第30-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 硅微电容式加速度计敏感结构的设计 | 第37-60页 |
| ·微电容式加速度计敏感结构设计与仿真 | 第37-56页 |
| ·敏感结构有限元模型的建立 | 第38-39页 |
| ·敏感结构模态分析 | 第39-44页 |
| ·敏感结构静力分析 | 第44-52页 |
| ·敏感结构谐响应分析 | 第52-56页 |
| ·微结构阻尼的设计 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 矢量水听器制作与测试 | 第60-74页 |
| ·硅微电容加速度计敏感结构加工工艺设计 | 第60-64页 |
| ·敏感结构加工的掩模版设计与工艺流程 | 第60-62页 |
| ·加速度计的测试 | 第62-64页 |
| ·矢量水听器结构设计与制作 | 第64-68页 |
| ·声压通道的设计 | 第64-66页 |
| ·矢量水听器的总体结构设计与制作 | 第66-68页 |
| ·矢量水听器的测试 | 第68-73页 |
| ·指向性测试 | 第69-71页 |
| ·灵敏度测试 | 第71-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
