脉冲激光辐照半导体表面的热效应分析
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 1 引言 | 第10-15页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-13页 |
| ·本论文的主要内容和安排 | 第13-15页 |
| 2 激光辐照半导体材料的理论基础 | 第15-32页 |
| ·半导体的光吸收 | 第15-20页 |
| ·导体、半导体、绝缘体的能带 | 第15-16页 |
| ·半导体的光吸收机理 | 第16-20页 |
| ·激光作用固体材料的热源模型 | 第20-22页 |
| ·热传导方程和基本热物理参数 | 第20-21页 |
| ·激作用固体材料的热源模型 | 第21-22页 |
| ·超短脉冲激光对半导体材料的破坏机理分析 | 第22-26页 |
| ·超短脉冲的发展 | 第22-24页 |
| ·超短脉冲激光破坏机理 | 第24-26页 |
| ·能量吸收和热效应 | 第25页 |
| ·表面汽化 | 第25-26页 |
| ·微机构的改变 | 第26页 |
| ·力学破坏 | 第26页 |
| ·非线性过程 | 第26页 |
| ·超短激光脉冲烧蚀特性及计算模型 | 第26-32页 |
| ·飞秒激光烧蚀特性 | 第26-29页 |
| ·使透明材料改性 | 第27页 |
| ·有确定的烧蚀阈值 | 第27-28页 |
| ·规则的加工边缘 | 第28页 |
| ·逐层微加工 | 第28-29页 |
| ·飞秒激光参数对加工的影响 | 第29-32页 |
| ·激光波长的影响 | 第29-30页 |
| ·激光脉宽的影响 | 第30页 |
| ·脉冲个数的影响 | 第30-31页 |
| ·脉冲重复率的影响 | 第31页 |
| ·其他参数的影响 | 第31-32页 |
| 3 长脉冲激光辐照GaAs表面的热效应分析 | 第32-38页 |
| ·长脉冲激光辐照半导体材料的热传导模型 | 第32-34页 |
| ·激光脉冲参量对温升的影响 | 第34-37页 |
| ·激光束光强分布的影响 | 第34-36页 |
| ·激光脉宽的影响 | 第36页 |
| ·激光束光斑半径的影响 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 飞秒脉冲激光烧蚀Si表面的热效应分析 | 第38-46页 |
| ·超短脉冲激光烧蚀半导体的物理模型 | 第38-39页 |
| ·速率方程及双温方程的数值计算 | 第39-41页 |
| ·计算结果与讨论 | 第41-44页 |
| ·小结 | 第44-46页 |
| 5 总结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
