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面向微纳器件的纳米加工装备与组装工艺的研究

提要第1-10页
第一章 绪论第10-22页
   ·微纳复合薄膜的发展历史第10-12页
   ·微纳复合薄膜的前景、分类、结构、性能及其应用第12-15页
     ·微纳复合薄膜的分类第12-13页
     ·微纳复合薄膜的结构第13-14页
     ·微纳复合薄膜的性能第14-15页
   ·微纳复合薄膜的重要性第15-17页
   ·开展微纳复合薄膜研究的重要意义第17-18页
   ·微纳复合薄膜制备技术简介以及研制微纳复合薄膜装置的意义第18-19页
   ·本论文研究的意义和目的第19-22页
     ·本次研究的意义第19-20页
     ·本论文研究的内容第20-22页
第二章 微纳复合薄膜制备技术的研究及其制备原理第22-36页
   ·微纳复合薄膜制备技术的研究历史第22-27页
   ·基于静电作用的微纳复合薄膜制备技术第27页
   ·在静电作用下微纳复合薄膜制备的基本原理及过程第27-36页
     ·常见的静电微纳复合薄膜制备材料第27-28页
     ·微纳复合薄膜层层制备过程第28-29页
     ·微纳复合薄膜层层制备的优点第29-30页
     ·层层制备微纳复合薄膜驱动力第30-31页
       ·微纳复合薄膜静电引力作用的驱动力第30页
       ·微纳复合薄膜氢键作用的驱动力第30-31页
       ·微纳复合薄膜配位键作用的驱动力第31页
       ·微纳复合薄膜电荷转移作用的驱动力第31页
       ·微纳复合薄膜疏水相互作用的驱动力第31页
     ·影响层层制备微纳复合薄膜的因素第31-36页
       ·离子强度第32-33页
       ·溶液中聚电解质分子的电荷密度第33页
       ·溶液的 pH 值第33-34页
       ·溶剂性质第34页
       ·溶液温度第34-35页
       ·其他第35-36页
第三章 制备微纳复合薄膜自动制膜装置的设计第36-62页
   ·用来制备微纳复合薄膜自动制膜装置的总体方案第37页
   ·制备微纳复合薄膜自动制膜装置的机械设计方案第37-46页
     ·机械结构第37-39页
     ·机械手的原理与选用第39-42页
       ·机械手的组成第39-40页
       ·机械手的分类第40-41页
       ·机械手自由度第41页
       ·机械手几个重要参数第41-42页
       ·机械手原理第42页
     ·步进电机的基本原理及其电机的选用第42-46页
       ·感应子式步进电机工作原理第43-45页
       ·本装置步进电机的选择第45-46页
   ·制备微纳复合薄膜自动制膜装置的电子控制部分第46-62页
     ·制膜装置的电路部分第46-52页
       ·系统信号的输出第46-48页
       ·系统信号的输入第48-49页
       ·此装置电路设计第49-52页
     ·制膜装置应用程序界面设置第52-62页
       ·VB 的特点及功能第52页
       ·VB 的坐标系统第52-53页
       ·操作界面的设计第53-62页
第四章 自动制膜装置制备微纳复合薄膜工艺流程第62-71页
   ·制备微纳复合薄膜基本流程第62-63页
   ·具体实验为例详细说明制备微纳复合薄膜工艺流程第63-71页
     ·引言第64-65页
     ·实验部分第65-68页
       ·试验中用到的试剂第65页
       ·聚(4-乙烯基吡啶)锇配合物(PVP-Os)的合成第65-66页
       ·试验中所用到得仪器第66-67页
       ·微纳复合薄膜的制备过程第67-68页
     ·实验结果及其简单讨论第68-71页
       ·多层膜沉积过程和吸附饱和时间分析第68-69页
       ·不同扫速的循环伏安变化以及影响电流的因素第69-71页
第五章 结论与展望第71-73页
   ·课题总结第71-72页
   ·课题展望第72-73页
参考文献第73-82页
致谢第82-83页
摘要第83-85页
Abstract第85-87页

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