| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| ·透明导电氧化物薄膜 | 第14页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的分类 | 第14-17页 |
| ·ITO | 第15页 |
| ·FTO | 第15-16页 |
| ·AZO | 第16页 |
| ·ATO | 第16-17页 |
| ·FTO薄膜的基本特性 | 第17-20页 |
| ·FTO薄膜的光学性能 | 第17-18页 |
| ·FTO薄膜的电学性能 | 第18-20页 |
| ·FTO薄膜的研究现状 | 第20页 |
| ·FTO薄膜的应用 | 第20-22页 |
| ·选题的研究内容和研究目标 | 第22-23页 |
| 第二章 FTO薄膜的制备技术与测试方法 | 第23-33页 |
| ·FTO薄膜的制备技术 | 第23-28页 |
| ·喷雾热解法 | 第23-25页 |
| ·溅射法 | 第25-26页 |
| ·化学气相沉积法 | 第26-27页 |
| ·真空蒸发法 | 第27页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第27-28页 |
| ·FTO薄膜的测试方法 | 第28-33页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第28-29页 |
| ·薄膜形貌分析 | 第29-30页 |
| ·薄膜相结构分析 | 第30页 |
| ·薄膜电学性能测量 | 第30-31页 |
| ·薄膜光学性能测量 | 第31-33页 |
| 第三章 以乙醇为溶剂FTO薄膜的制各及性能 | 第33-46页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·实验 | 第33-35页 |
| ·试剂与仪器 | 第33页 |
| ·喷雾热解液的配制及除杂 | 第33-34页 |
| ·FTO薄膜的制备 | 第34-35页 |
| ·测试方法 | 第35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-44页 |
| ·FTO薄膜厚度对透光率和方块电阻的影响 | 第35-37页 |
| ·衬底温度对FTO薄膜的晶相结构、透光率和方块电阻的影响 | 第37-39页 |
| ·SnCl_4浓度对FTO薄膜透光率和方块电阻的影响 | 第39-40页 |
| ·NH_4F浓度对FTO薄膜透光率和方块电阻的影响 | 第40-41页 |
| ·醇水比对FTO薄膜透光率和方块电阻的影响 | 第41-43页 |
| ·FTO薄膜的优化 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 溶液组成对喷雾热解法制备FTO薄膜性能的影响 | 第46-60页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·实验 | 第46-48页 |
| ·试剂与仪器 | 第46-47页 |
| ·喷雾热解液的配制及除杂 | 第47页 |
| ·FTO薄膜的制备 | 第47-48页 |
| ·测试方法 | 第48页 |
| ·结果与讨论 | 第48-59页 |
| ·SnCl_4浓度对FTO薄膜厚度、晶相结构、透光率和方块电阻的影响 | 第48-51页 |
| ·NH_4F浓度对FTO薄膜的晶相结构、透光率和方块电阻的影响 | 第51-53页 |
| ·H_2O_2浓度对FTO薄膜透光率和方块电阻的影响 | 第53-55页 |
| ·醇水比对FTO薄膜的晶相结构、透光率和方块电阻的影响 | 第55-57页 |
| ·FTO薄膜的优化 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 以EMITA为氟源FTO薄膜的制备及性能 | 第60-67页 |
| ·引言 | 第60-61页 |
| ·实验 | 第61-62页 |
| ·EMITA的合成及提纯 | 第61页 |
| ·喷雾热解液的配制及除杂 | 第61页 |
| ·FTO薄膜的制备 | 第61-62页 |
| ·测试方法 | 第62页 |
| ·结果与讨论 | 第62-66页 |
| ·EMITA的提纯 | 第62-64页 |
| ·EMITA浓度对FTO薄膜透光率和方块电阻的影响 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第67-69页 |
| ·全文总结 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 攻读硕士期间发表文章及申请专利 | 第75页 |
