真空镀膜机的设备综合效率（OEE）研究

摘要	第1-3页
ABSTRACT	第3-5页
第一章 绪论	第5-9页
·课题背景及意义	第5-6页
·课题背景	第5-6页
·课题的意义	第6页
·国内外研究现状	第6-8页
·本文研究内容	第8页
·论文的框架结构	第8-9页
第二章 设备综合效率	第9-23页
·设备综合效率的定义	第9-13页
·SEMI对设备综合效率的定义	第9-11页
·国内对设备综合效率的定义	第11-13页
·A 公司设备综合效率的定义	第13-23页
·设备时间开动率的计算方法	第15-17页
·设备性能开动率的计算方法	第17-22页
·产品合格率的计算方法	第22-23页
第三章 真空镀膜机的设备综合效率分析	第23-37页
·真空镀膜机的生产特点	第23-25页
·基础数据的获取	第25-28页
·真空镀膜机设备综合效率的影响因子分析	第28-37页
·设备时间开动率分析	第28-34页
·设备性能开动率分析	第34页
·产品合格率分析	第34-37页
第四章 真空镀膜机设备综合效率的改善	第37-62页
·设备性能的改造提升	第37-43页
·设备的保养及优化	第43-47页
·生产程序的优化	第47-49页
·生产标准时间的导入	第49-56页
·5S活动的开展	第56-62页
第五章 结论与展望	第62-64页
·结论	第62页
·展望	第62-64页
参考文献	第64-66页
致谢	第66-67页
攻读硕士学位期间发表论文	第67-69页