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基于激光技术的复杂结构和功能性器件研究

内容提要第1-8页
第1章 绪论第8-32页
 §1.1 研究背景及意义第8-9页
 §1.2 高精度微光学器件第9-13页
  §1.2.1 目前的制作方法第9-10页
  §1.2.2 微光学的发展现状和发展趋势第10-13页
 §1.3 大面积仿生疏水表面第13-22页
  §1.3.1 超疏水表面的基本理论第13-14页
  §1.3.2 超疏水表面研究进展第14-17页
  §1.3.3 超疏水表面仿生疏水表面的发展趋势第17-22页
 §1.4 论文的研究思路第22-25页
  §1.4.1 目前的问题第22-23页
  §1.4.2 本论文的主要研究工作第23-25页
 参考文献第25-32页
第2章 飞秒激光加工中若干关键技术问题的研究第32-52页
 §2.1 表面自平滑效应第32-37页
  §2.1.1 光子聚合飞秒激光三维微纳加工系统第32-33页
  §2.1.2 飞秒激光加工工艺流程第33-34页
  §2.1.3 平表面的表面粗糙度研究第34-37页
 §2.2 等弧扫描方法第37-40页
  §2.2.1 等弧扫描第38页
  §2.2.2 高保真造型第38-40页
 §2.3 壳层扫描第40-46页
  §2.3.1 液体胶NOA61和固体胶SU8的壳层结构对比第40-43页
  §2.3.2 用壳层扫描方式快速制备高质量三维微流体器件第43-46页
 §2.4 本章小结第46-48页
 参考文献第48-52页
第3章 飞秒激光直写三维微光学器件第52-78页
 §3.1 波带片第52-59页
  §3.1.1 波带片介绍第52-53页
  §3.1.2 二阶菲涅尔波带片第53-56页
  §3.1.3 高阶菲涅尔波带片第56-57页
  §3.1.4 反射式菲涅尔波带片第57-59页
 §3.2 分形环第59-63页
  §3.2.1 分形环介绍第59页
  §3.2.2 相位型分形环的制备第59-60页
  §3.2.3 分形环减小色差特性第60-61页
  §3.2.3 分形环的多焦点特性第61-63页
 §3.3 非球面微透镜及其高填充的阵列第63-68页
  §3.3.1 微透镜及其阵列介绍第63-64页
  §3.3.2 单个微透镜及其阵列的制备第64页
  §3.3.3 四方和六角微透镜阵列的制备及其性能研究第64-68页
 §3.4 人工仿生复眼第68-73页
  §3.4.1 人工复眼介绍第68-69页
  §3.4.2 人工复眼的制备第69-70页
  §3.4.3 人工复眼的测试第70-73页
 §3.5 本章小结第73-74页
 参考文献第74-78页
第4章 利用多光束干涉技术实现大面积仿生疏水表面第78-112页
 §4.1 无掩模多光束激光干涉技术第78-81页
  §4.1.1 多光束干涉基本理论第78-80页
  §4.1.2 多光束激光干涉系统的搭建第80-81页
 §4.2 多功能的仿生表面第81-89页
  §4.2.1 规则的微柱结构制备第82-83页
  §4.2.2 规则的微柱阵列结构的疏水特性研究第83-85页
  §4.2.3 规则的微柱阵列结构的光学特性研究第85-86页
  §4.2.4 不同高度和宽度的微柱阵列结构的疏水特性第86-88页
  §4.2.5 多级结构的制备及其疏水特性第88-89页
 §4.3 可控的各向异性仿生疏水表面第89-100页
  §4.3.1 不同参数的沟槽表面各项异性行为第89-94页
  §4.3.2 一个方向可控的各项异性行为第94-95页
  §4.3.3 两个方向可控的各项异性仿生疏水表面第95-100页
 §4.4 智能可调谐的超疏水表面第100-108页
 §4.5 本章小结第108-109页
 参考文献第109-112页
第5章 结合TOP-DOWN和BOTTOM-UP方法实现功能性复杂结构第112-125页
 §5.1 引言第112页
 §5.2 干涉和毛细力结合制备大面积的花状结构第112-116页
 §5.3 规则可控的大面积的复杂微纳结构第116-119页
 §5.4 微粒子的俘获和释放功能第119-121页
 §5.5 本章小结第121-122页
 参考文献第122-125页
第6章 结论第125-127页
已发表或待发表的文章第127-129页
致谢第129-130页
中文摘要第130-133页
ABSTRACT第133-136页

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