| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 前言 | 第11-25页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第11页 |
| 1.2 热电效应和原理 | 第11-14页 |
| 1.2.1 Seebeck效应 | 第12-13页 |
| 1.2.2 Peltier效应 | 第13页 |
| 1.2.3 Thomson效应 | 第13-14页 |
| 1.2.4 热电效应之间的关系 | 第14页 |
| 1.3 热电材料的电热输运性能 | 第14-17页 |
| 1.3.1 电导率 | 第15页 |
| 1.3.2 Seebeck系数 | 第15-16页 |
| 1.3.3 热导率 | 第16页 |
| 1.3.4 提高材料热电性能的途径 | 第16-17页 |
| 1.4 薄膜热电材料的研究现状 | 第17-22页 |
| 1.4.1 真空蒸发镀膜法 | 第17-18页 |
| 1.4.2 溅射镀膜法 | 第18-20页 |
| 1.4.3 离子镀膜法 | 第20页 |
| 1.4.4 等离子化学气相沉积 | 第20-21页 |
| 1.4.5 分子束外延法 | 第21页 |
| 1.4.6 脉冲激光沉积 | 第21-22页 |
| 1.5 YbAl_3的研究现状及问题 | 第22-23页 |
| 1.6 选题目的、研究方案和主要内容 | 第23-25页 |
| 第2章 YbAl_3靶材的制备与热电性能 | 第25-36页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 实验部分 | 第25-27页 |
| 2.2.1 实验方法 | 第25-26页 |
| 2.2.2 材料表征 | 第26-27页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第27-34页 |
| 2.3.1 传统方法制备YbAl_3粉末的物相组成 | 第27页 |
| 2.3.2 YbAl_3靶材的显微结构 | 第27-28页 |
| 2.3.3 YbAl_3靶材的成分分析 | 第28-29页 |
| 2.3.4 YbAl_3靶材的电输运性能 | 第29-31页 |
| 2.3.5 YbAl_3靶材的热输运性能 | 第31-33页 |
| 2.3.6 YbAl_3靶材的综合热电性能 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 YbAl_3薄膜溅射工艺探索 | 第36-51页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 实验部分 | 第36-37页 |
| 3.2.1 实验方法 | 第36页 |
| 3.2.2 材料表征 | 第36-37页 |
| 3.3 基板温度对YbAl_3薄膜显微结构和热电性能的影响 | 第37-43页 |
| 3.3.1 基板温度对YbAl_3薄膜物相组成和化学成分的影响 | 第37-39页 |
| 3.3.2 基板温度对YbAl_3薄膜显微结构的影响 | 第39-41页 |
| 3.3.3 基板温度对YbAl_3薄膜电输运性能的影响 | 第41-43页 |
| 3.4 Al靶输出电压对YbAl_3薄膜显微结构和热电性能的影响 | 第43-50页 |
| 3.4.1 Al靶输出电压对YbAl_3薄膜物相和化学组成的影响 | 第44-46页 |
| 3.4.2 Al靶输出电压对YbAl_3薄膜显微结构的影响 | 第46-48页 |
| 3.4.3 Al靶输出电压对YbAl_3薄膜电输运性能的影响 | 第48-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 退火处理对YbAl_3薄膜的影响 | 第51-73页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 实验部分 | 第51-53页 |
| 4.2.1 实验方法 | 第51-52页 |
| 4.2.2 材料表征 | 第52-53页 |
| 4.3 退火温度对YbAl_3薄膜显微结构和热电性能的影响 | 第53-66页 |
| 4.3.1 退火温度对YbAl_3薄膜物相组成的影响 | 第53-57页 |
| 4.3.2 退火温度对YbAl_3薄膜显微结构的影响 | 第57-61页 |
| 4.3.3 退火温度对YbAl_3薄膜电热输运性能的影响 | 第61-66页 |
| 4.4 退火时间对YbAl_3薄膜显微结构和热电性能的影响 | 第66-72页 |
| 4.4.1 退火时间对YbAl_3薄膜物相和化学组成的影响 | 第66-67页 |
| 4.4.2 退火时间对YbAl_3薄膜显微结构的影响 | 第67-70页 |
| 4.4.3 退火时间对YbAl_3薄膜电热输运性能的影响 | 第70-72页 |
| 4.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 硕士期间发表论文 | 第81页 |
