| 摘要 | 第4-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第13-28页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第13-14页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第14-25页 |
| 1.2.1 单视测量方法 | 第15-18页 |
| 1.2.2 多视测量方法 | 第18-23页 |
| 1.2.3 融合测量方法及其他方法 | 第23-25页 |
| 1.3 课题来源 | 第25页 |
| 1.4 研究内容与技术路线 | 第25-28页 |
| 2 SEM成像过程的通用性建模 | 第28-46页 |
| 2.1 引言 | 第28-29页 |
| 2.2 SEM成像原理与成像模型 | 第29-34页 |
| 2.2.1 SEM基本原理 | 第29-31页 |
| 2.2.2 SEM基本组成 | 第31-32页 |
| 2.2.3 SEM成像模型及其研究现状 | 第32-34页 |
| 2.3 连续通用成像模型 | 第34-37页 |
| 2.3.1 普朗克坐标系与径向基函数 | 第34-36页 |
| 2.3.2 连续通用成像模型的参数化建模 | 第36页 |
| 2.3.3 连续通用成像模型标定 | 第36-37页 |
| 2.4 实验结果及分析 | 第37-44页 |
| 2.4.1 模拟实验结果与分析 | 第37-41页 |
| 2.4.2 实际实验结果与分析 | 第41-44页 |
| 2.5 小结 | 第44-46页 |
| 3 SEM图像畸变建模与校正方法 | 第46-71页 |
| 3.1 引言 | 第46-47页 |
| 3.2 SEM图像畸变原理与研究现状 | 第47-49页 |
| 3.3 顾及倍率变化的SEM图像畸变建模与校正 | 第49-58页 |
| 3.3.1 时间漂移畸变建模与校正 | 第50-51页 |
| 3.3.2 固有空间畸变的数学模型 | 第51-53页 |
| 3.3.3 基于阵列标靶的低倍率下模型解算 | 第53-55页 |
| 3.3.4 基于散斑标靶的高倍率下模型解算 | 第55-58页 |
| 3.4 实验结果及分析 | 第58-69页 |
| 3.4.1 模拟实验结果与分析 | 第58-65页 |
| 3.4.2 实际实验结果与分析 | 第65-69页 |
| 3.5 小结 | 第69-71页 |
| 4 基于视差-深度映射的局部高效微纳三维测量方法 | 第71-87页 |
| 4.1 引言 | 第71-72页 |
| 4.2 基于视差-深度映射的三维测量流程及关键技术 | 第72-79页 |
| 4.2.1 视差-深度映射原理 | 第73-74页 |
| 4.2.2 SEM图像对的极线校准 | 第74-77页 |
| 4.2.3 基于数字图像相关(DIC)的稠密视差计算方法 | 第77-79页 |
| 4.3 实验结果及分析 | 第79-85页 |
| 4.3.1 数字图像相关法与光流法对比 | 第79-81页 |
| 4.3.2 与常规的微纳尺度三维测量方法对比实验 | 第81-85页 |
| 4.4 小结 | 第85-87页 |
| 5 自适应SFM-SEM框架下整体精细微纳三维测量方法 | 第87-105页 |
| 5.1 引言 | 第87-88页 |
| 5.2 ASFM-SEM框架流程与优化 | 第88-94页 |
| 5.2.1 成像模型的选择与定义 | 第89-90页 |
| 5.2.2 透视投影模型下的多视三维重建 | 第90-93页 |
| 5.2.3 平行投影模型下的多视三维重建 | 第93-94页 |
| 5.3 针对SEM图像的特征提取及匹配算法 | 第94-95页 |
| 5.4 实验结果及分析 | 第95-103页 |
| 5.4.1 特征点提取及匹配实验结果 | 第95-98页 |
| 5.4.2 精度验证试验 | 第98页 |
| 5.4.3 三维重建实验结果 | 第98-103页 |
| 5.5 小结 | 第103-105页 |
| 6 总结与展望 | 第105-109页 |
| 6.1 主要结论 | 第105-107页 |
| 6.2 研究展望 | 第107-109页 |
| 致谢 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-125页 |
| 附录 攻读博士期间发表的学术论文、专利目录 | 第125-127页 |
