| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 陷光结构在硅太阳能电池中的应用 | 第10-12页 |
| 1.3 表面陷光结构的制备方法 | 第12-17页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第17-18页 |
| 2 实验材料与设备 | 第18-25页 |
| 2.1 实验材料 | 第18-20页 |
| 2.2 实验设备 | 第20-25页 |
| 3 硅纳米陷光结构的模拟与分析 | 第25-37页 |
| 3.1 硅纳米陷光结构的模拟分析方法 | 第25-27页 |
| 3.2 周期性排列的硅纳米柱结构的反射率模拟 | 第27-34页 |
| 3.3 非严格周期性排列的硅纳米柱结构的反射率模拟 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 4 硅纳米陷光结构的制备 | 第37-49页 |
| 4.1 金属纳米阵列结构的制备 | 第37-43页 |
| 4.2 硅纳米柱阵列结构的制备 | 第43-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 硅纳米柱结构的陷光特性研究 | 第49-53页 |
| 5.1 硅纳米柱阵列结构的反射率测量 | 第49-50页 |
| 5.2 分析与讨论 | 第50-52页 |
| 5.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 6 全文总结与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 全文总结 | 第53-54页 |
| 6.2 展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62页 |