| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 微电子机械系统(MEMS) | 第12-15页 |
| 1.1.1 RF/微波MEMS技术的基本特征 | 第12-13页 |
| 1.1.2 RF MEMS的发展现状 | 第13页 |
| 1.1.3 RF MEMS在微波通讯中的应用 | 第13-15页 |
| 1.2 微波信号检测 | 第15-25页 |
| 1.2.1 微波信号功率检测的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.2 微波信号检波的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.2.3 微波信号频率检测的研究现状 | 第20-22页 |
| 1.2.4 微波信号相位检测的研究现状 | 第22-25页 |
| 1.3 微波信号集成检测 | 第25-26页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第26-29页 |
| 1.4.1 目前存在的主要问题 | 第26-27页 |
| 1.4.2 主要研究工作 | 第27-28页 |
| 1.4.3 主要创新点 | 第28-29页 |
| 1.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第二章 MEMS微波通讯信号集成检测系统的设计理论和实现方法 | 第30-38页 |
| 2.1 信号检测原理 | 第30-33页 |
| 2.1.1 信号功率检测 | 第31页 |
| 2.1.2 信号频率检测 | 第31-32页 |
| 2.1.3 信号相位检测 | 第32-33页 |
| 2.1.4 信号集成检测 | 第33页 |
| 2.2 模型的建立方法 | 第33-35页 |
| 2.2.1 微波网络级联 | 第33-35页 |
| 2.3 版图与工艺 | 第35-36页 |
| 2.4 测试和表征 | 第36-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 MEMS微波功率检测的研究 | 第38-52页 |
| 3.1 电容式MEMS微波功率传感器 | 第38-44页 |
| 3.1.1 电容式MEMS微波功率传感器的模拟与模型 | 第38-42页 |
| 3.1.2 电容式MEMS微波功率传感器的制备和测试 | 第42-44页 |
| 3.2 热电式MEMS微波功率传感器 | 第44-48页 |
| 3.2.1 热电式MEMS微波功率传感器的设计和优化 | 第45-46页 |
| 3.2.2 热电式MEMS微波功率传感器的制备和测试 | 第46-48页 |
| 3.3 级联式微波功率传感器 | 第48-51页 |
| 3.3.1 级联式MEMS微波功率传感器的设计和模拟 | 第49页 |
| 3.3.2 级联式MEMS微波功率传感器的制备和测试 | 第49-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 MEMS微波频率检测和相位检测的研究 | 第52-64页 |
| 4.1 MEMS频率检测器的研究 | 第52-55页 |
| 4.2 MEMS相位检测器的研究 | 第55-63页 |
| 4.2.1 微型Wilkinson功分器的研究 | 第55-58页 |
| 4.2.2 MEMS相位检测器的制备和测试 | 第58-63页 |
| 4.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 MEMS微波信号检波器的研究 | 第64-79页 |
| 5.1 热电式微波信号检波 | 第64-68页 |
| 5.1.1 热电式检波器的理论分析 | 第64-65页 |
| 5.1.2 热电式检波器的实际测试 | 第65-68页 |
| 5.2 在线式微波信号检波 | 第68-74页 |
| 5.2.1 在线式MEMS检波器的理论分析 | 第68-69页 |
| 5.2.2 在线式MEMS检波器的模拟与设计 | 第69-71页 |
| 5.2.4 在线式MEMS检波器的加工与测试 | 第71-74页 |
| 5.3 级联式微波信号检波 | 第74-78页 |
| 5.3.1 级联式检波器的原理与模拟 | 第74-75页 |
| 5.3.2 级联式检波器的模拟与设计 | 第75-76页 |
| 5.3.3 级联式检波器的加工与测试 | 第76-78页 |
| 5.4 本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 MEMS悬臂梁开关设计及其可靠性的研究 | 第79-91页 |
| 6.1 MEMS悬臂梁开关的设计与模拟 | 第79-82页 |
| 6.2 MEMS悬臂梁开关的加工测试 | 第82-84页 |
| 6.3 MEMS悬臂梁开关的可靠性研究 | 第84-90页 |
| 6.4 本章小结 | 第90-91页 |
| 第七章 MEMS微波通讯信号集成检测系统 | 第91-119页 |
| 7.1 MEMS六端口耦合器 | 第91-96页 |
| 7.1.1 MEMS六端口耦合器的设计与模拟 | 第92-95页 |
| 7.1.2 MEMS六端口耦合器的加工与测试 | 第95-96页 |
| 7.2 MEMS微波功率分配器 | 第96-100页 |
| 7.2.1 MEMS微波功率分配器的设计与模拟 | 第97-98页 |
| 7.2.2 MEMS微波功率分配器的加工与测试 | 第98-100页 |
| 7.3 基于幅度比值法的MEMS微波通讯信号集成检测系统 | 第100-109页 |
| 7.3.1 基幅度比值法的MEMS微波通讯信号集成检测系统的设计与模拟 | 第101-103页 |
| 7.3.2 基幅度比值法的MEMS微波通讯信号集成检测系统的加工与测试 | 第103-109页 |
| 7.4 基于相位比较法的MEMS微波通讯信号集成检测系统 | 第109-117页 |
| 7.4.1 基于相位比较法的MEMS微波通讯信号集成检测系统的设计与模拟 | 第111-112页 |
| 7.4.2 基于相位比较法的MEMS微波通讯信号集成检测系统的加工与测试 | 第112-117页 |
| 7.5 本章小结 | 第117-119页 |
| 第八章 MEMS微波通讯信号集成检测系统的S参数模型 | 第119-133页 |
| 8.1 传输线参数建立 | 第119-122页 |
| 8.1.1 传输线阻抗参数的分析 | 第119-121页 |
| 8.1.2 传输线损耗参数的提取 | 第121-122页 |
| 8.2 MEMS六端口耦合器的S参数建立 | 第122-124页 |
| 8.3 MEMS微波功率分配器的S参数建立 | 第124-126页 |
| 8.4 基于幅度比值法的MEMS微波通讯信号集成检测系统 | 第126-129页 |
| 8.5 基于相位比较法的MEMS微波通讯信号集成检测系统 | 第129-132页 |
| 8.6 本章小结 | 第132-133页 |
| 第九章 总结和展望 | 第133-136页 |
| 9.1 论文的主要工作 | 第133-135页 |
| 9.2 未来研究工作的展望 | 第135-136页 |
| 参考文献 | 第136-145页 |
| 在学期间学术成果 | 第145-147页 |
| 致谢 | 第147页 |
