| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 热电效应及其应用 | 第10-13页 |
| 1.3 热电效能分析及热电优值定义 | 第13-16页 |
| 1.4 热电材料研究进展 | 第16-19页 |
| 1.5 本论文的结构安排 | 第19-21页 |
| 2 薄膜的制备和性能测试 | 第21-29页 |
| 2.1 磁控溅射法 | 第21-22页 |
| 2.2 退火 | 第22-24页 |
| 2.3 薄膜的热电性能测试 | 第24-29页 |
| 3 Bi_2Te_3薄膜热电性能研究 | 第29-44页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 退火对Bi_2Te_3薄膜电学性能的影响 | 第29-30页 |
| 3.3 厚度对Bi_2Te_3薄膜电学性能的影响 | 第30-36页 |
| 3.4 温度对Bi_2Te_3薄膜热电性能的影响 | 第36-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 4 GeTe/Bi_2Te_3超晶格热电性能研究 | 第44-55页 |
| 4.1 引言 | 第44-45页 |
| 4.2 厚度对GeTe/Bi_2Te_3超晶格电学性能的影响 | 第45-48页 |
| 4.3 温度对GeTe/Bi_2Te_3超晶格电学性能的影响 | 第48-51页 |
| 4.4 GeTe/Bi_2Te_3超晶格的热导率和ZT值 | 第51-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 结论 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
