| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 太赫兹技术的背景与应用 | 第10-12页 |
| 1.2 太赫兹成像探测技术 | 第12-16页 |
| 1.3 太赫兹吸收层 | 第16-17页 |
| 1.4 本论文的工作意义和结构安排 | 第17-19页 |
| 第二章 太赫兹吸收层对太赫兹辐射的吸收原理 | 第19-27页 |
| 2.1 超材料结构对太赫兹辐射的吸收原理 | 第19-23页 |
| 2.1.1 太赫兹波的传播 | 第20页 |
| 2.1.2 菲涅尔方程 | 第20-23页 |
| 2.1.3 吸收层厚度和损耗的关系 | 第23页 |
| 2.2 多孔硅结构对太赫兹波调制吸收的原理 | 第23-26页 |
| 2.2.1 多孔硅的形成原理 | 第23-24页 |
| 2.2.2 多孔硅有效折射率估算 | 第24-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 超材料和天线吸收结构的设计与制备 | 第27-45页 |
| 3.1 超材料结构在太赫兹微测辐射热计上的设计 | 第27-28页 |
| 3.2 超材料结构对太赫兹波的吸收仿真 | 第28-35页 |
| 3.2.1 超材料结构对太赫兹波吸收的影响仿真 | 第31-33页 |
| 3.2.2 超材料结构与微桥相结合的设计与仿真 | 第33-35页 |
| 3.3 顶端扩展的十字架超材料结构 | 第35-36页 |
| 3.4 超材料结构的制备 | 第36-40页 |
| 3.4.1 超材料结构制备工艺 | 第37-38页 |
| 3.4.2 超材料结构制备流程 | 第38-39页 |
| 3.4.3 超材料结构的性能参数测试 | 第39-40页 |
| 3.5 天线结构在太赫兹探测器上的应用 | 第40-44页 |
| 3.5.1 天线结构对太赫兹波的吸收的仿真 | 第41-42页 |
| 3.5.2 天线结构的制备 | 第42-43页 |
| 3.5.3 天线结构的性能参数测试 | 第43-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 多孔硅结构对太赫兹波调制吸收的设计与制备 | 第45-59页 |
| 4.1 多孔硅结构对太赫兹波调制吸收的设计 | 第45-46页 |
| 4.2 多孔硅的制备 | 第46-47页 |
| 4.2.1 反应试剂与仪器 | 第46页 |
| 4.2.2 实验步骤 | 第46-47页 |
| 4.3 多孔硅的性能参数测试 | 第47-48页 |
| 4.4 金属薄膜对太赫兹波的吸收 | 第48-54页 |
| 4.4.1 黑化的金属薄膜对太赫兹辐射吸收 | 第51-52页 |
| 4.4.2 粗糙表面的金属薄膜对太赫兹辐射吸收 | 第52-53页 |
| 4.4.3 NiCr薄膜的太赫兹吸收率测试 | 第53-54页 |
| 4.5 多孔硅与NiCr薄膜相结合制成THz吸收层 | 第54-58页 |
| 4.5.1 NiCr薄膜的制备 | 第55-57页 |
| 4.5.2 多孔硅-NiCr薄膜吸收层性能测试 | 第57-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 总结 | 第59页 |
| 5.2 展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第66-67页 |