基于严格耦合波理论的散射场显微镜建模与分析
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-18页 |
| 1.1 选题来源 | 第13页 |
| 1.2 课题背景 | 第13-14页 |
| 1.3 散射测量原理 | 第14-16页 |
| 1.4 本文的主要研究内容和创新点 | 第16-18页 |
| 第二章 严格耦合波分析算法及程序实现 | 第18-36页 |
| 2.1 衍射理论概述 | 第18-20页 |
| 2.2 一般情形下严格耦合波分析算法 | 第20-28页 |
| 2.3 TE模态下严格耦合波分析算法 | 第28-31页 |
| 2.4 TM模态下严格耦合波分析算法 | 第31-33页 |
| 2.5 算法的程序实现 | 第33-34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 严格耦合波分析算法评估 | 第36-43页 |
| 3.1 精确性 | 第36-38页 |
| 3.2 快速性 | 第38-40页 |
| 3.3 一般测量特性 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 微纳周期结构散射测量特性 | 第43-51页 |
| 4.1 高度测量特性 | 第43-45页 |
| 4.2 周期测量特性 | 第45-47页 |
| 4.3 占空比测量特性 | 第47-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 论文总结 | 第51-52页 |
| 5.2 未来工作的展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第56页 |
