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氧化镁掺杂六硼化镧放电材料研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-18页
    1.1 研究背景第10页
    1.2 PDP的发展历史第10-11页
    1.3 PDP的研发现状第11-16页
        1.3.1 PDP的结构研究第12-13页
        1.3.2 AC PDP介质层的研究第13-16页
    1.4 本论文研究意义第16页
    1.5 本论文的主要内容及安排第16-18页
第二章 AC-PDP工作原理及气体放电理论第18-31页
    2.1 PDP的工作原理第18-21页
        2.1.1 AC-PDP的结构第18-20页
        2.1.2 AC-PDP介质保护层第20页
        2.1.3 AC-PDP单元放电第20-21页
    2.2 AC-PDP的气体放电理论第21-28页
        2.2.1 气体放电伏安特性第21-23页
        2.2.2 汤生放电理论第23-25页
        2.2.3 帕邢定律第25-27页
        2.2.4 气体放电延迟时间第27-28页
    2.3 MgO掺杂LaB_6可行性分析第28-30页
    2.4 本章小结第30-31页
第三章 MgO掺杂La B6复合薄膜第31-52页
    3.1 薄膜技术应用第31-35页
        3.1.1 化学气相沉积第31页
        3.1.2 蒸发法第31-32页
        3.1.3 离子镀第32-33页
        3.1.4 磁控溅射第33-35页
    3.2 薄膜形成的基本原理第35-36页
    3.3 射频溅射LaB_6薄膜分析第36-42页
        3.3.1 LaB_6薄膜XPS测试分析第37-38页
        3.3.2 溅射功率对LaB_6晶化的影响第38-40页
        3.3.3 溅射功率对LaB_6晶面的影响第40-41页
        3.3.4 溅射时间对LaB_6薄膜透过率的影响第41-42页
    3.4 MgO掺杂LaB_6复合薄膜分析第42-48页
        3.4.1 不同LaB_6比例对薄膜形貌影响第43-44页
        3.4.2 不同LaB_6比例对光学性能的影响第44-45页
        3.4.3 溅射功率对薄膜形貌的影响第45页
        3.4.4 溅射功率对薄膜透过率的影响第45-46页
        3.4.5 不同溅射气体比例下复合膜形貌分析第46-47页
        3.4.6 溅射时不同气体比例对薄膜透过率的影响第47-48页
    3.5 MgO掺杂LaB_6复合薄膜成分分析第48-50页
    3.6 电子束蒸发镀膜第50-51页
    3.7 本章总结第51-52页
第四章 MgO掺杂La B6放电性能测试第52-71页
    4.1 测试装置第52-56页
        4.1.1 单向脉冲控制电源第52-53页
        4.1.2 双向脉冲控制电源第53-56页
    4.2 老炼对测试的影响第56-57页
    4.3 掺杂LaB_6不同比例下薄膜放电性能测试第57-63页
        4.3.1 不同LaB_6比例对薄膜着火电压的影响第57-60页
        4.3.2 不同LaB_6比例对薄膜维持电压的影响第60-63页
    4.4 不同氙气浓度对薄膜放电性能的影响第63-64页
    4.5 溅射功率对薄膜放电性能的影响第64-67页
        4.5.1 溅射功率的改变对薄膜着火电压的影响第65-66页
        4.5.2 溅射功率的改变对薄膜维持电压的影响第66-67页
    4.6 溅射气体比例的改变对薄膜放电性能的影响第67-68页
    4.7 MgO掺杂LaB_6对放电延时的影响第68-69页
    4.8 本章总结第69-71页
第五章 结论与展望第71-73页
    5.1 总结第71-72页
    5.2 实验中的不足和展望第72-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-79页
攻读硕士学位期间取得的成果第79-80页

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