| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12页 |
| 1.2 惯性式、尺蠖式压电驱动器工作原理及国内外发展现状 | 第12-23页 |
| 1.2.1 惯性式压电驱动器工作原理及国内外发展现状 | 第12-17页 |
| 1.2.2 尺蠖式压电驱动器工作原理及国内外发展现状 | 第17-23页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第23-26页 |
| 第2章 混合驱动式压电多自由度驱动器动力学特性理论和仿真分析 | 第26-42页 |
| 2.1 混合驱动式压电多自由度驱动器总体结构设计 | 第26-27页 |
| 2.2 驱动单元的动力学模型 | 第27-39页 |
| 2.2.1 直线运动单元简化动力学模型 | 第27-33页 |
| 2.2.2 旋转运动单元简化动力学模型 | 第33-39页 |
| 2.3 本章小结 | 第39-42页 |
| 第3章 混合驱动式压电多自由度驱动器的结构设计与试验研究 | 第42-70页 |
| 3.1 驱动单元的结构设计 | 第42-52页 |
| 3.1.1 直线运动单元的结构设计 | 第42-49页 |
| 3.1.2 旋转运动单元的结构设计 | 第49-52页 |
| 3.2 压电晶片振子结构参数分析 | 第52-55页 |
| 3.2.1 压电晶片振子冲击能力和端部位移与结构参数的关系. | 第52-54页 |
| 3.2.2 压电晶片振子结构参数的优化设计 | 第54-55页 |
| 3.3 摩擦阻力矩调整装置 | 第55-58页 |
| 3.3.1 摩擦阻力矩对驱动器旋转运动单元的影响 | 第55-56页 |
| 3.3.2 摩擦阻力矩调整装置设计 | 第56-58页 |
| 3.4 驱动器输出性能的试验测试 | 第58-64页 |
| 3.4.1 驱动器样机结构尺寸及测试系统 | 第58-60页 |
| 3.4.2 驱动器原型样机直线运动单元试验结果 | 第60-62页 |
| 3.4.3 驱动器原型样机旋转运动单元试验结果 | 第62-64页 |
| 3.5 驱动器原型样机试验结果与仿真结果对比 | 第64-68页 |
| 3.5.1 驱动器输出轴的运动情况对比 | 第64-65页 |
| 3.5.2 直线运动单元步进位移影响因素试验与仿真对比 | 第65-66页 |
| 3.5.3 旋转运动单元步进转角影响因素试验与仿真对比 | 第66-68页 |
| 3.6 本章小结 | 第68-70页 |
| 第4章 驱动器闭环控制系统的设计研究 | 第70-78页 |
| 4.1 闭环控制系统的组成 | 第70-72页 |
| 4.1.1 LabVIEW虚拟仪器简介 | 第70-71页 |
| 4.1.2 闭环控制系统硬件组成 | 第71-72页 |
| 4.2 闭环电控系统程序设计 | 第72-76页 |
| 4.2.1 闭环电控系统整体流程设计 | 第72-73页 |
| 4.2.2 闭环电控系统软件设计 | 第73-76页 |
| 4.3 驱动器闭环控制系统试验 | 第76-77页 |
| 4.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 第5章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-88页 |
| 作者成果简介 | 第88-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
