K20硬质合金表面高附着WNx纳米涂层的溅射制备与性能研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 硬质合金概述 | 第12-13页 |
| 1.3 WNx涂层研究现状 | 第13-18页 |
| 1.4 硬质涂层力学性能表征与评价 | 第18-24页 |
| 1.4.1 残余应力 | 第19-20页 |
| 1.4.2 硬度 | 第20-21页 |
| 1.4.3 膜基结合力 | 第21-22页 |
| 1.4.4 摩擦学性能 | 第22-24页 |
| 1.5 论文主要研究内容及意义 | 第24-25页 |
| 第二章 实验方法及原理 | 第25-30页 |
| 2.1 技术路线 | 第25-26页 |
| 2.2 基体材料 | 第26页 |
| 2.3 涂层制备 | 第26-27页 |
| 2.4 成分、结构与性能的表征 | 第27-30页 |
| 2.4.1 表面粗糙度 | 第27页 |
| 2.4.2 形貌分析 | 第27页 |
| 2.4.3 成分分析 | 第27-28页 |
| 2.4.4 物相分析 | 第28页 |
| 2.4.5 硬度测试 | 第28页 |
| 2.4.6 附着性能分析 | 第28-29页 |
| 2.4.7 耐蚀性能分析 | 第29页 |
| 2.4.8 摩擦磨损性能分析 | 第29-30页 |
| 第三章 基体偏压对WNx纳米涂层性能的影响 | 第30-51页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 WNx涂层制备 | 第30页 |
| 3.3 成分、结构与性能表征分析 | 第30-49页 |
| 3.3.1 表面形貌与表面粗糙度 | 第31-32页 |
| 3.3.2 成分及相结构分析 | 第32-35页 |
| 3.3.3 断面形貌分析 | 第35-36页 |
| 3.3.4 残余应力 | 第36-37页 |
| 3.3.5 附着性能 | 第37-38页 |
| 3.3.6 硬度与弹性模量 | 第38-40页 |
| 3.3.7 耐蚀性能 | 第40-41页 |
| 3.3.8 摩擦学性能 | 第41-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 沉积温度对WNx纳米涂层性能的影响 | 第51-63页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 WNx涂层制备 | 第51-52页 |
| 4.3 成分、结构与性能表征分析 | 第52-61页 |
| 4.3.1 表面形貌与表面粗糙度 | 第52-53页 |
| 4.3.2 成分及相结构分析 | 第53-55页 |
| 4.3.3 断面形貌分析 | 第55-56页 |
| 4.3.4 残余应力 | 第56页 |
| 4.3.5 附着性能 | 第56-57页 |
| 4.3.6 硬度与弹性模量 | 第57-58页 |
| 4.3.7 耐蚀性能 | 第58-59页 |
| 4.3.8 摩擦磨损性能 | 第59-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 气体流量比对WNx纳米涂层性能的影响 | 第63-77页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 WNx涂层制备 | 第63-64页 |
| 5.3 成分、结构与性能表征分析 | 第64-75页 |
| 5.3.1 表面形貌与表面粗糙度 | 第64-65页 |
| 5.3.2 成分及相结构分析 | 第65-67页 |
| 5.3.3 断面形貌分析 | 第67-68页 |
| 5.3.4 残余应力 | 第68页 |
| 5.3.5 附着性能 | 第68-69页 |
| 5.3.6 硬度与弹性模量 | 第69-70页 |
| 5.3.7 耐蚀性能 | 第70-71页 |
| 5.3.8 摩擦学性能 | 第71-75页 |
| 5.4 本章小结 | 第75-77页 |
| 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-87页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 附件 | 第89页 |
