| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 CZTS薄膜太阳能电池简介 | 第9-11页 |
| 1.3 论文依据与研究内容 | 第11-13页 |
| 1.3.1 论文依据 | 第11-12页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 Zn-Sn-O薄膜的制备及性能 | 第13-37页 |
| 2.1 引言 | 第13-15页 |
| 2.2 实验部分 | 第15-19页 |
| 2.2.1 实验制备与表征仪器表 | 第15-16页 |
| 2.2.2 衬底玻璃片的清洗 | 第16页 |
| 2.2.3 脉冲激光沉积技术 | 第16-18页 |
| 2.2.3.1 脉冲激光沉积技术简述 | 第16-17页 |
| 2.2.3.2 实验仪器介绍 | 第17-18页 |
| 2.2.4 缓冲层Zn-Sn-O的制备 | 第18页 |
| 2.2.5 样品的表征方法 | 第18-19页 |
| 2.3 实验结果与分析 | 第19-36页 |
| 2.3.1 溅射衬底温度对Zn-Sn-O性能影响 | 第19-24页 |
| 2.3.1.1 薄膜的物相分析 | 第19-20页 |
| 2.3.1.2 薄膜的表面形貌分析 | 第20-22页 |
| 2.3.1.3 薄膜的透过率分析 | 第22-23页 |
| 2.3.1.4 薄膜的禁带系数 | 第23-24页 |
| 2.3.2 溅射能量对Zn-Sn-O薄膜的性能影响 | 第24-27页 |
| 2.3.2.1 薄膜的物相结构 | 第24-25页 |
| 2.3.2.2 薄膜的表面形貌分析 | 第25-26页 |
| 2.3.2.3 薄膜的透过率分析 | 第26-27页 |
| 2.3.3 退火温度对Zn-Sn-O薄膜的影响 | 第27-30页 |
| 2.3.3.1 薄膜的物相结构 | 第27-28页 |
| 2.3.3.2 薄膜的表面形貌分析 | 第28-29页 |
| 2.3.3.3 薄膜的透过率分析 | 第29-30页 |
| 2.3.4 溅射比率对Zn-Sn-O薄膜的性能影响 | 第30-36页 |
| 2.3.4.1 薄膜的物相结构 | 第30-31页 |
| 2.3.4.2 薄膜的表面形貌分析 | 第31-32页 |
| 2.3.4.3 薄膜的电学性能 | 第32页 |
| 2.3.4.4 薄膜的透过率分析 | 第32-33页 |
| 2.3.4.5 薄膜的禁带系数图谱 | 第33-34页 |
| 2.3.4.6 薄膜的EDAX分析 | 第34-35页 |
| 2.3.4.7 薄膜的XPS分析 | 第35-36页 |
| 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 铜锌锡硫硒(CZTSSe)薄膜吸收层的制备及性能 | 第37-62页 |
| 3.1 引言 | 第37-39页 |
| 3.2 实验部分 | 第39-42页 |
| 3.2.1 原料及仪器 | 第39-40页 |
| 3.2.2 CZTSSe薄膜吸收层的制备 | 第40-41页 |
| 3.2.3 样品的表征方法 | 第41-42页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第42-61页 |
| 3.3.1 硒化温度对CZTSSe薄膜的性能影响 | 第42-48页 |
| 3.3.1.1 CZTSSe薄膜的物相结构 | 第42-43页 |
| 3.3.1.2 CZTSSe薄膜的微观形貌 | 第43-45页 |
| 3.3.1.3 CZTSSe薄膜的EDAX分析 | 第45-46页 |
| 3.3.1.4 CZTSSe薄膜的光学性能分析 | 第46-48页 |
| 3.3.2 硒粉质量对CZTSSe薄膜性能的影响 | 第48-53页 |
| 3.3.2.1 CZTSSe薄膜的物相结构分析 | 第48-49页 |
| 3.3.2.2 CZTSSe薄膜的表面形貌分析 | 第49-51页 |
| 3.3.2.3 CZTSSe薄膜的EDAX分析 | 第51-52页 |
| 3.3.2.4 CZTSSe薄膜的光学性能分析 | 第52-53页 |
| 3.3.3 硒化时间对CZTSSe薄膜的影响 | 第53-55页 |
| 3.3.3.1 CZTSSe薄膜的物相结构分析 | 第53-54页 |
| 3.3.3.2 CZTSSe薄膜的表面形貌分析 | 第54-55页 |
| 3.3.3.3 CZTSSe薄膜的成分分析 | 第55页 |
| 3.3.4 Na元素对CZTSSe薄膜性能的影响 | 第55-61页 |
| 3.3.4.1 CZTSSe薄膜的物相结构分析 | 第55-57页 |
| 3.3.4.2 CZTSSe薄膜的表面形貌分析 | 第57页 |
| 3.3.4.3 CZTSSe薄膜的EDAX分析 | 第57-59页 |
| 3.3.4.4 CZTSSe薄膜的光学性能分析 | 第59页 |
| 3.3.4.5 CZTSSe薄膜的XPS分析 | 第59-61页 |
| 3.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 结论与展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 读研期间的主要研究成果 | 第71页 |
