超导量子器件的制备与相关工艺研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第12-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-15页 |
| 1.1.1 量子比特 | 第12页 |
| 1.1.2 超导量子比特 | 第12-15页 |
| 1.2 信息的读取与超导放大器 | 第15-16页 |
| 1.3 小结 | 第16-18页 |
| 2 超导共面波导 | 第18-24页 |
| 2.1 共面波导的特征阻抗和有效介电常数 | 第19-20页 |
| 2.2 电磁波在共面波导中的传播与反射 | 第20-24页 |
| 3 一种简单的空气桥制作法 | 第24-30页 |
| 3.1 概述 | 第24-25页 |
| 3.2 制作流程 | 第25-27页 |
| 3.3 测量结果与讨论 | 第27-30页 |
| 4 阻抗变换参量放大器 | 第30-40页 |
| 4.1 参量放大器的原理 | 第30-37页 |
| 4.1.1 约瑟夫森结 | 第31-34页 |
| 4.1.2 SQUID | 第34-35页 |
| 4.1.3 SQUID对信号的放大 | 第35-37页 |
| 4.2 阻抗变换器 | 第37-40页 |
| 5 参量放大器的制作 | 第40-56页 |
| 5.1 阻抗变换器与电容的制作 | 第40-47页 |
| 5.1.1 剥离工艺制作第一层 | 第40-42页 |
| 5.1.2 刻蚀工艺制作第二层 | 第42-46页 |
| 5.1.3 剥离工艺制作第三层 | 第46-47页 |
| 5.2 第四层:SQUID的制作 | 第47-49页 |
| 5.3 封装 | 第49-50页 |
| 5.4 参量放大器的测量 | 第50-56页 |
| 6 总结与展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 简历与科研成果 | 第65-66页 |
