| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 课题的来源及研究的背景和意义 | 第13-15页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第13页 |
| 1.1.2 课题研究背景和意义 | 第13-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.1 超精密导轨的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 导轨系统运动误差研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.3 误差补偿研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 液体静压导轨研究现阶段存在的问题 | 第19页 |
| 1.4 本课题研究的主要内容 | 第19-21页 |
| 第二章 液体静压导轨系统的设计 | 第21-31页 |
| 2.1 液体静压导轨系统总体方案的设计 | 第21页 |
| 2.2 液体静压导轨的结构设计 | 第21-25页 |
| 2.2.1 液体静压导轨的工作原理及结构 | 第21-23页 |
| 2.2.2 导轨主要结构设计参数的计算 | 第23-25页 |
| 2.3 供油系统的设计 | 第25-27页 |
| 2.4 控制系统的设计 | 第27-29页 |
| 2.4.1 工控机及UMAC控制器 | 第27-28页 |
| 2.4.2 电机和驱动器 | 第28-29页 |
| 2.4.3 位置反馈系统 | 第29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 液体静压导轨运动误差分析及检测方法 | 第31-40页 |
| 3.1 运动误差影响因素的分析 | 第31-33页 |
| 3.2 基于平面平晶的测量系统的检测方法 | 第33-39页 |
| 3.2.1 平面平晶测试系统 | 第34-35页 |
| 3.2.2 基于MATLAB的平面平晶运动误差测量系统开发 | 第35-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 导轨运动误差的影响因素分析及测试实验 | 第40-56页 |
| 4.1 基于FLUENT的有限元仿真分析 | 第40-44页 |
| 4.1.1 液体静压导轨油膜的仿真分析 | 第40-41页 |
| 4.1.2 仿真实验结果分析 | 第41-44页 |
| 4.2 运动误差的模型建立 | 第44-46页 |
| 4.3 运动误差影响因素实验分析 | 第46-54页 |
| 4.3.1 导轨运动副面形误差对导轨运动误差的分析 | 第47-52页 |
| 4.3.2 供油压力变化对导轨运动误差的分析 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 导轨定位误差补偿研究及精度验证 | 第56-69页 |
| 5.1 误差补偿方法 | 第56-57页 |
| 5.2 基于激光干涉仪的定位精度测试实验 | 第57-62页 |
| 5.2.1 定位精度检测原理 | 第57-58页 |
| 5.2.2 测试系统的搭建和测量 | 第58-62页 |
| 5.3 基于UMAC的定位误差补偿实验 | 第62-65页 |
| 5.3.1 误差补偿原理 | 第62-63页 |
| 5.3.2 定位精度补偿过程 | 第63-65页 |
| 5.4 加工实验与结果分析 | 第65-67页 |
| 5.4.1 加工实验 | 第65-66页 |
| 5.4.2 结果检测 | 第66-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 总结与展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |