| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 集成光学概述 | 第9-10页 |
| 1.2 集成光学器件进展 | 第10页 |
| 1.3 集成光学研究热点 | 第10-11页 |
| 1.4 铌酸锂晶体的光折变效应 | 第11-12页 |
| 1.5 本论文的工作内容与研究意义 | 第12-14页 |
| 第二章 铌酸锂的晶体结构与扩散理论 | 第14-26页 |
| 2.1 铌酸锂晶体的基本结构 | 第14-15页 |
| 2.2 铌酸锂晶体的缺陷结构 | 第15-18页 |
| 2.2.1 铌酸锂晶体的本征缺陷 | 第15-16页 |
| 2.2.2 铌酸锂晶体的非本征缺陷 | 第16-18页 |
| 2.3 铌酸锂晶体扩散理论 | 第18-26页 |
| 2.3.1 Fick定律及相关参数确定 | 第18-21页 |
| 2.3.2 Boltzmann-Matano方法 | 第21-22页 |
| 2.3.3 影响扩散的因素 | 第22-23页 |
| 2.3.4 扩散研究方法原理 | 第23-26页 |
| 第三章 钪扩散掺杂铌酸锂晶体的制备及表征 | 第26-45页 |
| 3.1 稀土元素——钪 | 第27页 |
| 3.2 氧化钪的烧结过程 | 第27-30页 |
| 3.3 掺钪铌酸锂晶体的制备 | 第30-33页 |
| 3.3.1 样品清洗 | 第30-31页 |
| 3.3.2 镀膜 | 第31-32页 |
| 3.3.3 热扩散过程 | 第32-33页 |
| 3.4 样品表征 | 第33-38页 |
| 3.4.1 掺杂Sc~(3+)对铌酸锂晶体折射率的影响 | 第33-35页 |
| 3.4.2 掺杂Sc~(3+)对铌酸锂晶体表面Li_2O浓度的影响 | 第35-38页 |
| 3.5 Sc~(3+)扩散特性的研究分析 | 第38-44页 |
| 3.5.1 二次离子质谱分析 | 第38-39页 |
| 3.5.2 计算钪离子的扩散系数 | 第39-42页 |
| 3.5.3 计算钪离子的扩散常数以及激活能 | 第42-43页 |
| 3.5.4 计算钪离子的表面浓度 | 第43-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 钪钛扩散掺杂铌酸锂光波导初步研究 | 第45-63页 |
| 4.1 钪掺杂平面光波导的制作及表征 | 第46-52页 |
| 4.1.1 平面光波导的制作 | 第46-47页 |
| 4.1.2 平面光波导表征 | 第47-51页 |
| 4.1.3 波导层折射率分布与钛离子浓度分布关系 | 第51-52页 |
| 4.2 钛离子加速钪离子扩散 | 第52-56页 |
| 4.3 钪掺杂钛扩散抗光折变铌酸锂条波导制作的初步研究 | 第56-62页 |
| 4.3.1 钪掺杂钛扩散铌酸锂条形光波制作 | 第56-58页 |
| 4.3.2 样品测试 | 第58-62页 |
| 4.3.2.1 导模的近场分布模斑采集 | 第58-60页 |
| 4.3.2.2 波导损耗测试 | 第60-61页 |
| 4.3.2.3 波导的抗光折变性讨论 | 第61-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 总结 | 第63页 |
| 5.2 展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
