| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 文献综述 | 第9-18页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 铁电体理论基础 | 第9-12页 |
| 1.2.1 极化方式 | 第9-10页 |
| 1.2.2 电畴或畴 | 第10-11页 |
| 1.2.3 电滞回线(P-E) | 第11-12页 |
| 1.2.4 钙钛矿结构铁电体的自发极化 | 第12页 |
| 1.3 BST铁电材料概述 | 第12-15页 |
| 1.3.1 BST的结构性能 | 第12-13页 |
| 1.3.2 BST铁电薄膜的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.3.3 BST铁电薄膜的应用 | 第14-15页 |
| 1.4 BST铁电薄膜的制备技术 | 第15-16页 |
| 1.5 课题的提出和研究内容 | 第16-18页 |
| 2 实验过程 | 第18-26页 |
| 2.1 实验原料与检测设备 | 第18-19页 |
| 2.2 样品的制备工艺 | 第19-23页 |
| 2.2.1 BST溶胶的制备 | 第19-21页 |
| 2.2.2 BST薄膜的制备 | 第21-23页 |
| 2.3 性能检测与方法 | 第23-26页 |
| 2.3.1 干凝胶的热重/差热分析 | 第23-24页 |
| 2.3.2 物相分析 | 第24页 |
| 2.3.3 显微结构分析 | 第24页 |
| 2.3.4 BST粉体和薄膜样品晶粒尺寸的计算 | 第24页 |
| 2.3.5 薄膜铁电性能测试 | 第24-25页 |
| 2.3.6 BST薄膜介电性能的测定 | 第25-26页 |
| 3 BST溶胶及粉体的制备及表征 | 第26-36页 |
| 3.1 BST溶胶的研究 | 第26-29页 |
| 3.1.1 Pechini法影响BST溶胶稳定性的因素 | 第26-28页 |
| 3.1.2 醋酸盐法影响BST溶胶稳定性的因素 | 第28-29页 |
| 3.2 BST干凝胶的热重/差热分析 | 第29-31页 |
| 3.2.1 Pechini法制备BST干凝胶的热重/差热分析 | 第29-30页 |
| 3.2.2 醋酸盐法制备BST干凝胶的热重/差热分析 | 第30-31页 |
| 3.3 BST粉体的物相和微观形貌 | 第31-33页 |
| 3.3.1 Pechini法制备BST粉体的物相和微观形貌 | 第31-32页 |
| 3.3.2 醋酸盐法制备BST粉体的物相和微观形貌 | 第32-33页 |
| 3.4 BST薄膜的微观形貌 | 第33-34页 |
| 3.4.1 Pechini法制备BST薄膜的微观形貌 | 第33页 |
| 3.4.2 醋酸盐法制备BST薄膜的微观形貌 | 第33-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-36页 |
| 4 BST薄膜的制备及性能研究 | 第36-64页 |
| 4.1 溶胶浓度对BST薄膜的影响 | 第36-37页 |
| 4.2 BST薄膜的热处理制度研究 | 第37-50页 |
| 4.2.1 退火温度对BST薄膜相结构和形貌的影响 | 第37-40页 |
| 4.2.2 退火时间对BST薄膜相结构和形貌的影响 | 第40-44页 |
| 4.2.3 热分解温度对BST薄膜相结构和形貌的影响 | 第44-47页 |
| 4.2.4 热分解时间对BST薄膜相结构和微观形貌的影响 | 第47-50页 |
| 4.3 Si/SiO_2/Ti/Pt衬底上制备Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜的分析 | 第50-57页 |
| 4.3.1 BST薄膜的相组成分析 | 第50-51页 |
| 4.3.2 BST薄膜的微观形貌分析 | 第51-54页 |
| 4.3.3 Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜的电性能 | 第54-57页 |
| 4.4 厚度对Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜性能的影响 | 第57-63页 |
| 4.4.1 不同厚度Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜的微观形貌 | 第57-59页 |
| 4.4.2 不同厚度Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜的电性能 | 第59-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 5 Co掺杂对Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜性能的影响 | 第64-74页 |
| 5.1 Co掺杂BST干凝胶的热重/差热分析 | 第64-65页 |
| 5.2 Co掺杂BST薄膜的物相分析 | 第65-67页 |
| 5.3 Co掺杂BST薄膜的微观形貌分析 | 第67-69页 |
| 5.4 Ba_(0.8)Sr_(0.2)Co_xTi_(1-x/2)O_3薄膜的电性能 | 第69-73页 |
| 5.4.1 Ba_(0.8)Sr_(0.2)Co_xTi_(1-x/2)O_3薄膜的铁电性能 | 第69-70页 |
| 5.4.2 Co含量对BSCT薄膜介电性能的影响 | 第70-71页 |
| 5.4.3 BSCT薄膜的介电调谐性能研究 | 第71-73页 |
| 5.5 本章小结 | 第73-74页 |
| 6 主要结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-82页 |
| 攻读硕士学位期间主要研究成果目录 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
