| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 微加工技术及光学干涉测试技术发展概况 | 第8-13页 |
| 1.1.1 微加工技术的发展状况 | 第8-11页 |
| 1.1.2 微结构表面形貌测试技术 | 第11-13页 |
| 1.2 图像拼接技术 | 第13-14页 |
| 1.3 课题研究的主要目的和内容 | 第14-17页 |
| 第二章 大范围微结构表面形貌测试的实现及其关键技术 | 第17-36页 |
| 2.1 相移显微干涉测量和垂直扫描干涉测量方法 | 第17-19页 |
| 2.1.1 相移显微干涉测试方法 | 第17-18页 |
| 2.1.2 垂直扫描干涉测试方法 | 第18-19页 |
| 2.1.3 两种方法的对比 | 第19页 |
| 2.2 微结构表面形貌总体拼接流程 | 第19-23页 |
| 2.2.1 平面相对位置的确定 | 第20页 |
| 2.2.2 离面相对位置的确定 | 第20-23页 |
| 2.3 相位展开算法的选择 | 第23-24页 |
| 2.4 基于图像处理的自动对焦方法 | 第24-34页 |
| 2.4.1 透镜成像原理 | 第24-25页 |
| 2.4.2 自动对焦中图像处理基本原理 | 第25-27页 |
| 2.4.3 对焦评价函数 | 第27-30页 |
| 2.4.4 对焦搜索策略 | 第30-32页 |
| 2.4.5 自动对焦原理改进 | 第32-34页 |
| 2.5 子区域拼接路径的选择 | 第34-36页 |
| 第三章 大范围微结构表面形貌测试实验系统的设计 | 第36-47页 |
| 3.1 系统的硬件组成 | 第36-39页 |
| 3.1.1 数字图像采集部分 | 第37页 |
| 3.1.2 相移和垂直扫描控制部分 | 第37-38页 |
| 3.1.3 子区域的自动定位和对焦部分 | 第38-39页 |
| 3.2 系统软件设计 | 第39-47页 |
| 3.2.1 基于Labview 定位与图像采集程序设计 | 第39-44页 |
| 3.2.2 Matlab 图像处理程序设计 | 第44-47页 |
| 第四章 表面形貌拼接测试实验与分析 | 第47-68页 |
| 4.1 自动对焦方法的验证 | 第47-49页 |
| 4.2 相位展开方法的验证 | 第49-50页 |
| 4.3 测量性能的评价 | 第50-55页 |
| 4.3.1 大范围性能测试的评价 | 第50-53页 |
| 4.3.2 扫描拼接测试 | 第53-55页 |
| 4.4 实际器件的表面形貌测量实例与分析 | 第55-68页 |
| 4.4.1 FEL 微透镜阵列模型器件的拼接实验与分析 | 第55-63页 |
| 4.4.2 MEMS 微器件的拼接实验与分析 | 第63-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
