| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10页 |
| 1.2 轴快流CO_2激光器的发展 | 第10-12页 |
| 1.3 大功率轴快流CO_2激光器射频激励源的关键技术 | 第12-21页 |
| 1.4 本文的意义和主要研究内容 | 第21-24页 |
| 2 激励频率对CO_2/He/N_2混合气体放电的影响 | 第24-42页 |
| 2.1 低温等离子体源 | 第24-26页 |
| 2.2 介质阻挡放电 | 第26-30页 |
| 2.3 数值模拟的平台 | 第30-31页 |
| 2.4 基于流体模型的CO_2/He/N_2混合气体放电数值模拟 | 第31-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 3 全固态射频电源的研究 | 第42-72页 |
| 3.1 功率放大器件 | 第42-43页 |
| 3.2 功率放大电路的分类 | 第43-47页 |
| 3.3 全固态射频电源的设计要求 | 第47-48页 |
| 3.4 全固态射频电源的整体结构 | 第48-49页 |
| 3.5 射频驱动板的设计 | 第49-56页 |
| 3.6 功率放大电路相关参数的确定 | 第56-58页 |
| 3.7 谐振参数的设计 | 第58-59页 |
| 3.8 死区时间的设定 | 第59-63页 |
| 3.9 阻抗匹配网络的设计 | 第63-66页 |
| 3.10 功率放大电路的仿真 | 第66-67页 |
| 3.11 功率放大电路的测试 | 第67-71页 |
| 3.12 本章小结 | 第71-72页 |
| 4 射频功率MOSFET微通道热沉的数值研究 | 第72-101页 |
| 4.1 微通道热沉概述 | 第72-73页 |
| 4.2 微通道热沉的装配方式 | 第73页 |
| 4.3 MOSFET热阻拓扑模型 | 第73-75页 |
| 4.4 CFD基础概述 | 第75-76页 |
| 4.5 流体运动基本方程 | 第76-78页 |
| 4.6 矩形凹槽及其优化结构微通道热沉的相关设置 | 第78-88页 |
| 4.7 结果分析与讨论 | 第88-100页 |
| 4.8 本章小结 | 第100-101页 |
| 5 通过式功率检测电路的设计与实验 | 第101-121页 |
| 5.1 定向耦合器及射频大功率测量系统简介 | 第101-104页 |
| 5.3 通过式功率测量电路的设计 | 第104-115页 |
| 5.4 功率测量电路的仿真分析 | 第115-118页 |
| 5.5 电路调试 | 第118-120页 |
| 5.6 本章小结 | 第120-121页 |
| 6 全文总结与展望 | 第121-123页 |
| 致谢 | 第123-125页 |
| 参考文献 | 第125-137页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第137-138页 |
| 附录2 攻读博士学位期间参与的科研活动 | 第138页 |
