脉冲微波等离子体中静电三探针诊断技术的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 前言 | 第9-10页 |
| 1.2 等离子体概述 | 第10-14页 |
| 1.3 静电探针诊断技术 | 第14-20页 |
| 1.4 传输线原理 | 第20-21页 |
| 1.5 研究内容 | 第21-22页 |
| 2 诊断系统的搭建 | 第22-37页 |
| 2.1 支撑系统 | 第22-23页 |
| 2.2 传动系统 | 第23-30页 |
| 2.3 探针系统 | 第30-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 3 诊断电路的分析 | 第37-50页 |
| 3.1 诊断电路电路图 | 第37-38页 |
| 3.2 集总参数元件的阻抗 | 第38-39页 |
| 3.3 信号线的等效阻抗 | 第39-42页 |
| 3.4 探针线的等效阻抗 | 第42-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 诊断信号的处理与分析 | 第50-59页 |
| 4.1 采集信号的时频转换 | 第50-52页 |
| 4.2 诊断电路的解析 | 第52-53页 |
| 4.3 静电三探针模型修正 | 第53-55页 |
| 4.4 平台实验结果的分析 | 第55页 |
| 4.5 诊断方法优化前后计算结果对比 | 第55-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 5 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 总结 | 第59-60页 |
| 5.2 展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
