| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 论文的背景和意义 | 第12-13页 |
| 1.2 压电陶瓷驱动器的特性基础 | 第13-15页 |
| 1.2.1 压电陶瓷驱动器的结构与原理 | 第13-14页 |
| 1.2.2 压电陶瓷驱动器非线性形成机理 | 第14-15页 |
| 1.3 压电陶瓷驱动器非线性模型国内外研究现状 | 第15-24页 |
| 1.3.1 压电陶瓷驱动器的控制模型 | 第15-21页 |
| 1.3.2 压电陶瓷驱动器的控制方法 | 第21-24页 |
| 1.4 本论文主要研究内容及结构体系 | 第24-26页 |
| 第2章 压电陶瓷驱动器非线性特性的研究 | 第26-40页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 压电陶瓷驱动器非线性特性研究的目的与设备 | 第26-29页 |
| 2.2.1 研究目的 | 第26页 |
| 2.2.2 实验设备 | 第26-29页 |
| 2.3 压电陶瓷驱动器非线性特性与分析 | 第29-39页 |
| 2.3.1 迟滞特性 | 第29-34页 |
| 2.3.2 蠕变特性 | 第34-37页 |
| 2.3.3 温度特性 | 第37-39页 |
| 2.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 压电陶瓷驱动器迟滞非线性的建模及在线辨识 | 第40-63页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 Prandtl-Ishlinskii模型及其在线辨识 | 第40-52页 |
| 3.2.1 经典Prandtl-Ishlinskii模型 | 第40-42页 |
| 3.2.2 改进的Prandtl-Ishlinskii模型 | 第42-45页 |
| 3.2.3 Prandtl-Ishlinskii模型的自适应在线辨识 | 第45-52页 |
| 3.3 Preisach模型 | 第52-62页 |
| 3.3.1 经典Preisach模型 | 第52-53页 |
| 3.3.2 离散的Preisach模型 | 第53-54页 |
| 3.3.3 改进的Preisach模型及其逆模型 | 第54-57页 |
| 3.3.4 改进的Preisach逆模型的自适应在线辨识 | 第57-62页 |
| 3.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第4章 压电陶瓷驱动器蠕变非线性的建模 | 第63-72页 |
| 4.1 引言 | 第63页 |
| 4.2 压电陶瓷蠕变的对数模型 | 第63-65页 |
| 4.3 压电陶瓷蠕变的蠕变算子叠加模型及其逆模型 | 第65-68页 |
| 4.3.1 基本蠕变算子叠加模型 | 第65-67页 |
| 4.3.2 基本蠕变算子叠加模型的逆模型 | 第67-68页 |
| 4.4 压电陶瓷蠕变非线性的逆补偿开环控制 | 第68-71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 第5章 压电陶瓷驱动器迟滞与蠕变非线性的控制 | 第72-79页 |
| 5.1 引言 | 第72页 |
| 5.2 经典PID控制 | 第72-73页 |
| 5.3 基于Preisach逆模型的自适应前馈开环控制 | 第73-74页 |
| 5.4 基于Preisach自适应逆模型和PID的复合闭环控制 | 第74-75页 |
| 5.5 实验验证 | 第75-78页 |
| 5.5.1 对阶跃信号的跟踪实验 | 第75-76页 |
| 5.5.2 对正弦信号的跟踪实验 | 第76-77页 |
| 5.5.3 对方波信号的跟踪实验 | 第77-78页 |
| 5.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 第6章 压电陶瓷驱动的微纳定位平台的非线性控制 | 第79-87页 |
| 6.1 引言 | 第79页 |
| 6.2 压电陶瓷驱动微纳定位平台非线性控制的联合仿真 | 第79-83页 |
| 6.2.1 微纳定位平台机械部分的PID控制 | 第79-81页 |
| 6.2.2 微纳定位平台的基于Preisach自适应逆模型和PID的复合闭环控制 | 第81-83页 |
| 6.3 压电陶瓷驱动微纳定位平台非线性控制的实物验证 | 第83-85页 |
| 6.4 本章小结 | 第85-87页 |
| 第7章 总结与展望 | 第87-89页 |
| 7.1 论文主要内容与结论 | 第87页 |
| 7.2 论文的主要创新点 | 第87-88页 |
| 7.3 未来工作的展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 攻读学位期间发表的论著、获奖情况及发明专利 | 第95-96页 |
| 作者简介 | 第96页 |
