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CeO2基纳米粒子薄膜阻变特性研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第1章 绪论第12-32页
    1.1 引言第12页
    1.2 RRAM的材料体系第12-25页
        1.2.1 固态电解质材料第13-14页
        1.2.2 碳基阻变材料第14-15页
        1.2.3 有机阻变材料第15-18页
        1.2.4 复杂氧化物第18-21页
        1.2.5 二元金属氧化物阻变材料第21-25页
    1.3 稀土氧化物的阻变特性研究第25-26页
    1.4 常见的纳米粒子制备方法第26-29页
        1.4.1 固相法第27页
        1.4.2 液相法第27-28页
        1.4.3 气相法第28-29页
        1.4.4 水热法第29页
    1.5 常见制备CeO_2纳米粒子研究进展第29-31页
        1.5.1 溶胶凝胶法制备CeO_2纳米粒子研究进展第29-30页
        1.5.2 水热法制备CeO_2纳米粒子研究进展第30-31页
    1.6 本文研究内容第31-32页
第2章 CeO_2纳米粒子薄膜制备及阻变特性研究第32-62页
    2.1 制备方法及条件第32-35页
        2.1.1 溶胶凝胶法及其制备条件第32-33页
        2.1.2 水热法及其制备条件第33页
        2.1.3 表征与测试第33-35页
    2.2 溶胶凝胶法制备CeO_2薄膜第35-42页
        2.2.1 CeO_2溶胶配置及薄膜制备第35-36页
        2.2.2 退火温度对CeO_2薄膜阻变特性影响第36-42页
    2.3 CeO_2纳米粒子的合成与表征第42-58页
        2.3.1 CeO_2纳米粒子制备第43-44页
        2.3.2 pH值对CeO_2纳米粒子生长及阻变特性的影响第44-52页
        2.3.3 焙烧温度对CeO_2纳米粒子生长及阻变特性影响第52-58页
    2.4 CeO_2理论计算分析第58-59页
    2.5 本章小结第59-62页
第3章 铈锆复合纳米粒子薄膜阻变特性研究第62-88页
    3.1 水热法制备CeO_2/ZrO_2复合纳米薄膜及表征第62-68页
        3.1.1 CeO_2/ZrO_2复合纳米粒子薄膜制备第62-63页
        3.1.2 形貌分析第63-65页
        3.1.3 阻变特性第65-67页
        3.1.4 输运机制分析第67-68页
    3.2 pH对CZO5复合纳米粒子阻变特性研究第68-76页
        3.2.1 形貌分析第68-69页
        3.2.2 阻变特性第69-72页
        3.2.3 输运机制分析第72-74页
        3.2.4 开关机制分析第74-76页
    3.3 焙烧温度对CZO5复合纳米粒子阻变特性研究第76-83页
        3.3.1 形貌分析第76-77页
        3.3.2 阻变特性分析第77-79页
        3.3.3 输运机制分析第79-81页
        3.3.4 开关机制分析第81-83页
    3.4 CeO_2/ZrO_2复合材料理论计算分析第83-85页
    3.5 本章小结第85-88页
第4章 铈锌复合纳米粒子薄膜阻变特性研究第88-100页
    4.1 水热法制备CeO_2/ZnO复合纳米粒子薄膜及表征第88-94页
        4.1.1 CeO_2/ZnO复合纳米粒子薄膜制备第89页
        4.1.2 结构与形貌分析第89-91页
        4.1.3 阻变特性分析第91-94页
    4.2 膜层数对CeO_2/ZnO复合纳米粒子薄膜阻变特性分析第94-97页
        4.2.1 阻变特性分析第94-96页
        4.2.2 开关机制分析第96-97页
    4.3 本章小结第97-100页
第5章 结论与展望第100-102页
    5.1 主要结论第100-101页
    5.2 研究展望第101-102页
参考文献第102-110页
致谢第110-112页
攻读硕士学位期间发表的论文第112页

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