| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 各向异性材料中位错环弹性理论的研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 微纳米压痕的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.4 薄膜晶体缺陷的像应力研究现状 | 第12-14页 |
| 1.5 本文的研究内容 | 第14-16页 |
| 2 基于各向异性位错环弹性场的单晶体压痕模型 | 第16-41页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 计算模型 | 第16-39页 |
| 2.2.1 各向异性半空间位错环的弹性理论 | 第16-24页 |
| 2.2.2 数值实例 | 第24-26页 |
| 2.2.3 四边形棱柱位错环位移模拟 | 第26-27页 |
| 2.2.4 Vickers四边形压痕模型 | 第27-33页 |
| 2.2.5 卸载后Vickers纳米压痕的残余应力 | 第33-35页 |
| 2.2.6 Berkovich三边形压痕模型 | 第35-39页 |
| 2.3 本章小结 | 第39-41页 |
| 3 有限单晶体薄膜中位错环——自由面相互作用 | 第41-68页 |
| 3.1 引言 | 第41-42页 |
| 3.2 计算模型 | 第42-66页 |
| 3.2.1 方法的基本描述 | 第42-48页 |
| 3.2.2 三边形棱柱位错环全空间应力场模拟 | 第48-50页 |
| 3.2.3 薄膜表面镜像力的计算——四边形棱柱位错环 | 第50-56页 |
| 3.2.4 薄膜表面镜像力的计算——三边形棱柱位错环 | 第56-60页 |
| 3.2.5 带有空洞的薄膜表面镜像力的计算 | 第60-66页 |
| 3.3 本章小结 | 第66-68页 |
| 4 结论与展望 | 第68-71页 |
| 4.1 主要结论 | 第68-69页 |
| 4.2 展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
