离子引出装置的设计与特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 等离子体特性概述 | 第9页 |
| 1.2 离子引出装置发展概述 | 第9-18页 |
| 1.3 等离子体诊断方法概述 | 第18-23页 |
| 1.3.1 探针法 | 第18-20页 |
| 1.3.2 微波法 | 第20-21页 |
| 1.3.3 阻抗测量法 | 第21页 |
| 1.3.4 光谱诊断法 | 第21-23页 |
| 1.4 本文研究目的和重点 | 第23-24页 |
| 第2章 实验平台研究 | 第24-33页 |
| 2.1 实验系统研究 | 第24-25页 |
| 2.2 等离子体发生器系统研究 | 第25-26页 |
| 2.3 真空系统设计 | 第26-28页 |
| 2.3.1 真空腔设计 | 第26-27页 |
| 2.3.2 真空腔泵组及真空计选型 | 第27-28页 |
| 2.4 离子引出系统设计 | 第28页 |
| 2.5 控制系统设计 | 第28-30页 |
| 2.6 光谱系统设计 | 第30-32页 |
| 2.7 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 等离子光谱诊断研究 | 第33-43页 |
| 3.1 “碰撞-辐射”模型原理 | 第33页 |
| 3.2 氩等离子体“碰撞-辐射”模型的建立 | 第33-36页 |
| 3.3 氩等离子体“碰撞-辐射”模型的建立 | 第36页 |
| 3.4 谱线比较法确定电子温度和电子密度 | 第36-37页 |
| 3.5 典型放电工况下的等离子体参数测量 | 第37-39页 |
| 3.6 误差分析 | 第39-42页 |
| 3.7 结论 | 第42-43页 |
| 第4章 等离子体射流非平衡特性的实验研究 | 第43-58页 |
| 4.1 千赫兹高压交流放电等离子体特性研究 | 第43-54页 |
| 4.1.1 电源输入功率对等离子体特征参数的影响 | 第43-46页 |
| 4.1.2 电源频率对等离子体特征参数的影响 | 第46-49页 |
| 4.1.3 真空压强对等离子体特征参数的影响 | 第49-50页 |
| 4.1.4 工作气体流量对等离子体特征参数的影响 | 第50-51页 |
| 4.1.5 等离子体T_e/n_e的空间分布 | 第51-54页 |
| 4.2 本章小结 | 第54-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 导师简介 | 第63-64页 |
| 作者简介 | 第64-65页 |
| 学位论文数据集 | 第65页 |
