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应用于低功耗相变存储器的Sb-Se基纳米材料的制备及性能研究

摘要第4-6页
abstract第6-7页
引言第10-11页
1 绪论第11-19页
    1.1 相变存储器第11-14页
        1.1.1 相变存储器原理第11页
        1.1.2 相变存储材料第11-13页
        1.1.3 相变存储器研究现状第13-14页
    1.2 纳米结构第14-18页
        1.2.1 纳米薄膜结构第14-15页
        1.2.2 纳米线第15-18页
    1.3 本论文的主要研究思路与内容第18-19页
2 纳米结构制备工艺与表征方法第19-27页
    2.1 薄膜材料的制备技术第19-21页
        2.1.1 热蒸发法第19页
        2.1.2 磁控溅射法第19-20页
        2.1.3 脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition,PLD)第20-21页
    2.2 一维纳米材料的制备技术第21-24页
        2.2.1 气-液-固(Vapour-liquid-solid, VLS)生长机制第21-22页
        2.2.2 溶液-液-固(Solid-liquid-Solid, SLS)生长机制第22页
        2.2.3 金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)第22-23页
        2.2.4 模版法(Templates)第23-24页
    2.3 样品性能测试第24-27页
3 Sb-Te-Se薄膜制备及性能研究第27-35页
    3.1 实验第27-29页
    3.2 结果与讨论第29-33页
        3.2.1 热稳定性与数据保持力第29-30页
        3.2.2 X射线衍射分析(XRD)第30-31页
        3.2.3 拉曼(Raman)光谱分析第31-32页
        3.2.4 元素化学键分析第32页
        3.2.5 透射电镜(TEM)分析第32-33页
    3.3 本章小结第33-35页
4 Ge-Sb-Se纳米线制备及性能研究第35-44页
    4.1 实验第35-36页
    4.2 结果与讨论第36-43页
        4.2.1 生长距离对材料形貌的影响第36-37页
        4.2.2 生长温度对材料形貌的影响第37-38页
        4.2.3 载流速率对材料形貌的影响第38-39页
        4.2.4 纳米线表征第39-43页
    4.3 本章小结第43-44页
5 总结与展望第44-46页
    5.1 研究总结第44-45页
    5.2 展望第45-46页
参考文献第46-51页
在学研究成果第51-52页
致谢第52-53页

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