基于AlN/c-BN的高频SAW器件的制备及研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 SAW滤波器 | 第8-12页 |
| 1.1.1 压电效应与声表面波 | 第8-9页 |
| 1.1.2 SAW滤波器的结构与原理 | 第9-10页 |
| 1.1.3 SAW滤波器研究现状 | 第10-11页 |
| 1.1.4 压电材料 | 第11-12页 |
| 1.2 薄膜SAW器件 | 第12-14页 |
| 1.2.1 AlN薄膜SAW器件研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 c-BN薄膜SAW器件研究现状 | 第13页 |
| 1.2.3 AlN/c-BN结构存在问题 | 第13-14页 |
| 1.3 研究内容与研究意义 | 第14-15页 |
| 第二章 器件制备工艺及性能表征 | 第15-24页 |
| 2.1 器件的制作流程 | 第15页 |
| 2.2 器件制备工艺 | 第15-18页 |
| 2.2.1 衬底准备 | 第15-16页 |
| 2.2.2 薄膜制备 | 第16-17页 |
| 2.2.3 光刻工艺 | 第17-18页 |
| 2.2.4 金属层淀积 | 第18页 |
| 2.3 薄膜结构及性能表征 | 第18-22页 |
| 2.3.1 厚度表征 | 第19页 |
| 2.3.2 晶向表征 | 第19-20页 |
| 2.3.3 结构表征 | 第20-21页 |
| 2.3.4 压电性能表征 | 第21-22页 |
| 2.4 器件性能表征 | 第22-24页 |
| 第三章 AlN薄膜制备及退火工艺 | 第24-37页 |
| 3.1 离位退火 | 第24-28页 |
| 3.1.1 晶向影响 | 第25-26页 |
| 3.1.2 形貌影响 | 第26-27页 |
| 3.1.3 压电性能影响 | 第27-28页 |
| 3.2 原位退火 | 第28-31页 |
| 3.2.1 晶向影响 | 第29-30页 |
| 3.2.2 形貌影响 | 第30-31页 |
| 3.2.3 压电性能影响 | 第31页 |
| 3.3 优化后AlN薄膜性能 | 第31-35页 |
| 3.3.1 压电响应一致性 | 第32页 |
| 3.3.2 薄膜极化特性 | 第32-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 AlN/c-BN叠层结构制备及性能研究 | 第37-54页 |
| 4.1 c-BN薄膜制备工艺及性能研究 | 第37-38页 |
| 4.1.1 c-BN薄膜的制备 | 第37页 |
| 4.1.2 c-BN薄膜的性能表征 | 第37-38页 |
| 4.2 AlN/c-BN叠层结构厚度优化 | 第38-48页 |
| 4.2.1 不同厚度的形貌表征 | 第39-43页 |
| 4.2.2 不同厚度的压电性能表征 | 第43-48页 |
| 4.3 AlN/c-BN叠层结构层数优化 | 第48-53页 |
| 4.3.1 三层结构特性分析 | 第49-51页 |
| 4.3.2 四层结构特性分析 | 第51-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 SAW滤波器的制备与研究 | 第54-59页 |
| 5.1 器件设计 | 第54-55页 |
| 5.2 光刻工艺 | 第55-56页 |
| 5.3 器件测试 | 第56-57页 |
| 5.4 AlN/c-BN叠层结构器件特性 | 第57-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
