高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪研制与应用研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题概述 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第12-18页 |
| 1.3 本文主要研究工作 | 第18-20页 |
| 2 双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统模型与误差分析 | 第20-44页 |
| 2.1 引言 | 第20-21页 |
| 2.2 双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统模型 | 第21-25页 |
| 2.3 误差来源及分类 | 第25-26页 |
| 2.4 误差传递与评估 | 第26-37页 |
| 2.5 误差传递与评估仿真实验 | 第37-43页 |
| 2.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 3 穆勒矩阵椭偏仪系统参数标定与误差修正方法 | 第44-58页 |
| 3.1 引言 | 第44-45页 |
| 3.2 系统参数标定 | 第45-52页 |
| 3.3 系统模型误差修正 | 第52-54页 |
| 3.4 仿真实验 | 第54-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 穆勒矩阵椭偏仪设备研制及性能测试 | 第58-73页 |
| 4.1 引言 | 第58页 |
| 4.2 设备设计与研制 | 第58-64页 |
| 4.3 性能评估与测试 | 第64-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 5 穆勒矩阵椭偏仪应用研究 | 第73-95页 |
| 5.1 引言 | 第73-74页 |
| 5.2 硒化锑薄膜测量表征 | 第74-78页 |
| 5.3 OLED各向异性薄膜测量表征 | 第78-81页 |
| 5.4 曲面薄膜测量表征 | 第81-89页 |
| 5.5 全息光栅测量表征 | 第89-93页 |
| 5.6 本章小结 | 第93-95页 |
| 6 总结与展望 | 第95-97页 |
| 6.1 全文总结 | 第95-96页 |
| 6.2 研究展望 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第106-107页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请的国家发明专利 | 第107-108页 |
| 附录3 攻读博士学位期间参会经历和所获奖励 | 第108页 |
