基于扫频激光干涉的数控机床几何误差测量系统
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-18页 |
| ·背景 | 第11页 |
| ·数控机床误差检测的国内外研究现状 | 第11-16页 |
| ·数控机床误差分析 | 第11-12页 |
| ·数控机床误差测量技术 | 第12-16页 |
| ·论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| ·论文研究背景 | 第16页 |
| ·论文研究内容 | 第16-18页 |
| 2 数控机床几何误差参数辨识方法 | 第18-39页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·数控机床误差综合模型 | 第18-23页 |
| ·几何误差 | 第18-19页 |
| ·齐次坐标变换矩阵 | 第19-21页 |
| ·三轴数控机床的误差综合建模 | 第21-23页 |
| ·几何误差参数辨识方法 | 第23-32页 |
| ·9线法 | 第23-26页 |
| ·12线法 | 第26-28页 |
| ·体对角线法 | 第28-32页 |
| ·几何误差参数测量的7线法 | 第32-38页 |
| ·7线法测量原理 | 第33-37页 |
| ·7线法测量分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 3 扫频激光干涉误差测量系统 | 第39-58页 |
| ·扫频激光干涉测量 | 第39-41页 |
| ·系统的总体结构和工作原理 | 第41-44页 |
| ·系统总体结构 | 第41-42页 |
| ·系统工作原理 | 第42-44页 |
| ·数据采集模块设计 | 第44-50页 |
| ·数据采集硬件构建 | 第44-46页 |
| ·数据采集控制软件开发 | 第46-50页 |
| ·数据处理模块设计 | 第50-57页 |
| ·设计思想 | 第50-51页 |
| ·信号预处理 | 第51-53页 |
| ·位相算法处理 | 第53-56页 |
| ·数据处理软件开发 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 扫频激光干涉误差测量系统精度分析 | 第58-71页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·测量精度分析 | 第58-62页 |
| ·固有误差 | 第58-61页 |
| ·环境误差 | 第61-62页 |
| ·安装误差 | 第62页 |
| ·数据采集精度分析 | 第62-64页 |
| ·采集光路误差 | 第62-63页 |
| ·计时误差 | 第63-64页 |
| ·数据处理精度分析 | 第64-67页 |
| ·信号滤波误差 | 第64-65页 |
| ·相位算法误差 | 第65-67页 |
| ·系统精度分析 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 5 数控机床几何误差的测量与辨识 | 第71-85页 |
| ·测量系统 | 第71-72页 |
| ·试验条件 | 第71页 |
| ·系统搭建 | 第71-72页 |
| ·几何误差综合测量 | 第72-79页 |
| ·X轴向线性位移误差测量 | 第72-73页 |
| ·平面对角线线性位移误差测量 | 第73-75页 |
| ·体对角线线性位移误差测量 | 第75-79页 |
| ·几何误差参数辨识分析 | 第79-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 6 总结与展望 | 第85-87页 |
| ·全文总结 | 第85页 |
| ·工作展望 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-90页 |
| 在学期间所取得的科研成果 | 第90页 |
