| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-31页 |
| ·金刚石薄膜的结构与性质 | 第9-12页 |
| ·金刚石的结构 | 第9-10页 |
| ·金刚石的性质 | 第10-12页 |
| ·金刚石薄膜的发展 | 第12-13页 |
| ·掺氮纳米金刚石薄膜的研究 | 第13-23页 |
| ·纳米金刚石薄膜的发展 | 第13-14页 |
| ·掺氮N型纳米金刚石薄膜的生长机理 | 第14-17页 |
| ·纳米金刚石薄膜的制备方法 | 第17-20页 |
| ·掺氮纳米金刚石薄膜的生长影响因素 | 第20-23页 |
| ·电场发射介绍 | 第23-29页 |
| ·电子发射 | 第23-25页 |
| ·发射阴极种类 | 第25-26页 |
| ·掺氮纳米金刚石薄膜直流场发射 | 第26-27页 |
| ·微波场发射特点 | 第27-28页 |
| ·掺氮纳米金刚石薄膜微波场发射 | 第28-29页 |
| ·课题来源及主要研究方法 | 第29-31页 |
| 2 N型掺氮纳米金刚石薄膜的制备系统及表征手段 | 第31-35页 |
| ·制备N型纳米金刚石薄膜的MPCVD系统 | 第31-32页 |
| ·金刚石薄膜的表征方法 | 第32-35页 |
| ·场发射扫描电子显微镜(FESEM) | 第33页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第33页 |
| ·拉曼光谱(Raman) | 第33-34页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第34-35页 |
| 3 N型纳米金刚石薄膜的表征结果与分析 | 第35-60页 |
| ·基底预处理 | 第35页 |
| ·压力对N型掺氮纳米金刚石薄膜的影响 | 第35-45页 |
| ·制备不同压力的N型掺氮纳米金刚石薄膜 | 第35-36页 |
| ·压力对N型掺氮纳米金刚石薄膜表面形貌影响 | 第36-39页 |
| ·压力对N型掺氮纳米金刚石薄膜表面粗糙度影响 | 第39-42页 |
| ·压力对N型掺氮纳米金刚石薄膜拉曼影响 | 第42-43页 |
| ·N型掺氮纳米金刚石薄膜的XPS检测 | 第43-45页 |
| ·温度对N型掺氮纳米金刚石薄膜的影响 | 第45-48页 |
| ·制备不同温度的N型掺氮纳米金刚石薄膜 | 第45-46页 |
| ·温度对N型掺氮纳米金刚石薄膜表面形貌影响 | 第46-47页 |
| ·温度对N型掺氮纳米金刚石薄膜拉曼影响 | 第47-48页 |
| ·Ar含量对N型掺氮纳米金刚石薄膜影响 | 第48-52页 |
| ·制备不同Ar含量的N型掺氮纳米金刚石薄膜 | 第48-50页 |
| ·Ar含量对N型掺氮纳米金刚石薄膜表面形貌影响 | 第50-51页 |
| ·Ar含量对N型掺氮纳米金刚石薄膜拉曼影响 | 第51-52页 |
| ·CH_4浓度对N型掺氮纳米金刚石薄膜的影响 | 第52-60页 |
| ·制备不同CH_4浓度的N型掺氮纳米金刚石薄膜 | 第52-53页 |
| ·CH_4浓度对N型掺氮纳米金刚石薄膜表面形貌影响 | 第53-55页 |
| ·CH_4浓度对N型掺氮纳米金刚石薄膜表面粗糙度影响 | 第55-57页 |
| ·CH_4浓度对N型掺氮纳米金刚石薄膜的拉曼光谱影响 | 第57-59页 |
| ·CH_4浓度对N型掺氮纳米金刚石薄膜的XRD影响 | 第59页 |
| ·CH_4浓度的霍尔效应测试 | 第59-60页 |
| 4 掺氮纳米金刚石薄膜在微波场中测试与分析 | 第60-67页 |
| ·S波段微波场测试平台 | 第60-61页 |
| ·N型纳米金刚石薄膜的测试结果 | 第61-67页 |
| ·NCD薄膜的S波段微波场发射性能及分析 | 第61-63页 |
| ·微观结构对微波场发射性能的影响 | 第63-64页 |
| ·微波场发射对薄膜形貌的影响 | 第64-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-76页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第76页 |
