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高密度磁记录介质用Fe(Co)Pt纳米结构的制备与研究

摘要第1-6页
Abstract第6-13页
1 绪论第13-45页
   ·磁记录技术概述第13-17页
     ·磁记录的发展历程第13-14页
     ·磁学基本概念第14-16页
     ·硬盘驱动器及其存储原理第16-17页
   ·传统的记录方式及遇到的问题第17-23页
     ·水平和垂直磁记录模式第17-19页
     ·传统磁记录介质遇到的问题第19-20页
     ·L1_0-Fe(Co)Pt材料第20-23页
   ·下一代磁记录技术第23-37页
     ·交换耦合磁记录介质(exchange coupled magnetic recording media)第23-24页
     ·热辅助磁记录技术(heat assisted magnetic recording)第24-28页
     ·图形化磁记录介质(bit patterned magnetic recording media)第28-36页
       ·纳米点阵列(nanodot arrays)第28-32页
       ·纳米反点阵列(antidot arrays)第32-36页
     ·其他磁记录技术第36-37页
   ·本论文的思路和工作安排第37-38页
   ·参考文献第38-45页
2 样品制备与表征方法第45-61页
   ·引言第45页
   ·薄膜的制备第45-50页
     ·基片的选择和清洗第45-46页
     ·薄膜的生长第46-49页
       ·磁控溅射镀膜的原理第46-47页
       ·磁控溅射镀膜的工艺参数第47-48页
       ·磁控溅射镀膜系统第48-49页
     ·退火处理第49-50页
   ·图形化过程第50-51页
   ·性能表征第51-58页
     ·表面轮廓分析仪(台阶仪)第51-52页
     ·X射线衍射分析(XRD)第52-53页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第53-55页
     ·X射线能谱分析仪(EDS)第55页
     ·磁性测量第55-57页
     ·紫外可见分光光度计第57-58页
   ·参考文献第58-61页
3 超薄AAO模板以及FePt纳米点阵列的制备与研究第61-73页
   ·引言第61页
   ·AAO模板的制备与超薄模板的转移过程第61-68页
     ·实验材料与装置第61-63页
     ·AAO模板的制备过程第63-66页
     ·超薄模板的制备与转移第66-68页
   ·FePt纳米点阵列的制备第68-70页
   ·本章小结第70-71页
   ·参考文献第71-73页
4 FePt反点阵列以及条纹型纳米结构的制备与研究第73-89页
   ·引言第73页
   ·实验过程第73-74页
   ·结果和讨论第74-86页
     ·FePt纳米反点阵列第74-80页
     ·FePt纳米条纹型结构第80-86页
   ·本章小结第86-87页
   ·参考文献第87-89页
5 超薄AAO模板干法刻蚀制备CoPt反点阵列第89-99页
   ·引言第89页
   ·实验方法第89-90页
   ·结果与讨论第90-97页
   ·本章小结第97页
   ·参考文献第97-99页
6 纳米共振腔超吸收结构在热辅助磁记录中的应用第99-109页
   ·引言第99页
   ·实验方法第99-100页
   ·结果与讨论第100-106页
   ·本章小结第106-107页
   ·参考文献第107-109页
7 结论第109-111页
论文创新点第111-113页
致谢第113-115页
攻读学位期间发表的论文第115-116页

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