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多孔TiO2薄膜的制备、表征及室温铁磁性研究

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
1 绪论第11-16页
   ·引言第11页
   ·稀磁半导体发展的瓶颈第11-12页
   ·金属氧化物的磁性第12-13页
   ·金属氧化物的缺陷第13-14页
   ·多孔金属氧化物薄膜材料第14-15页
   ·选题背景及主要研究内容第15-16页
2 实验方法及仪器第16-29页
   ·阳极氧化方法第16-19页
     ·实验仪器及材料第16-17页
     ·制备过程第17-19页
   ·磁控溅射沉积法第19-21页
     ·磁控溅射设备的原理第19-20页
     ·磁控溅射设备的特点第20-21页
   ·PAA 基底的预备及表征第21-24页
     ·PAA 基底的预备第21-22页
     ·预备基底的表征及讨论第22-24页
   ·测试仪器第24-29页
     ·扫描探针显微镜第24页
     ·扫描电子显微镜第24-25页
     ·X 射线衍射仪第25-26页
     ·紫外可见分光光度计第26-27页
     ·物理性能测试系统第27-29页
3 多孔 TiO_2薄膜制备、表征及磁性研究第29-38页
   ·利用磁控溅射设备在 PAA 上沉积制备多孔 TiO_2薄膜第30-32页
     ·样品的制备条件第30页
     ·制备样品的表征第30-32页
   ·不同溅射时间下,多孔 TiO_2薄膜磁性的研究第32-34页
     ·样品的制备条件第32页
     ·不同溅射时间下,多孔 TiO_2薄膜磁性的表征第32-34页
   ·不同氧流量条件下,多孔 TiO_2薄膜磁性的研究第34-35页
     ·样品的制备条件第34页
     ·不同氧流量条件下,多孔 TiO_2薄膜磁性的表征第34-35页
   ·不同空气退火温度下,多孔 TiO_2薄膜磁性的研究第35-36页
     ·样品的制备条件第35页
     ·不同空气退火温度下,多孔 TiO_2薄膜磁性的表征第35-36页
   ·不同空气退火时间下,多孔 TiO_2薄膜磁性的研究第36-37页
     ·样品的制备条件第36页
     ·不同空气退火时间下,多孔 TiO_2薄膜磁性的表征第36-37页
   ·本章小结第37-38页
4 使用其它方法制备 TiO_2薄膜和粉末及其磁性研究第38-46页
   ·使用阳极氧化法制备多孔 TiO_2薄膜第38-40页
     ·实验部分第38-39页
     ·阳极氧化法制备多孔 TiO_2薄膜的表征第39-40页
   ·使用溶胶--凝胶法制备 TiO_2薄膜第40-43页
     ·实验部分第40-41页
     ·溶胶--胶法制备的 TiO_2薄膜的表征第41-43页
   ·TiCl_4水解法制备 TiO_2粉末第43-45页
     ·实验部分第43页
     ·TiCl_4水解法制备 TiO_2粉末的表征第43-45页
   ·本章小结第45-46页
5 多孔 TiO_2薄膜室温铁磁性存在的原因第46-51页
   ·引言第46页
   ·多孔 TiO_2薄膜室温铁磁性的起因――氧空位第46-48页
     ·氧空位获得磁矩的分析第46-47页
     ·氧空位存在的证据第47-48页
   ·具有磁矩的氧空位的交换相互作用第48-49页
   ·满足交换相互作用的依据――磁各向异性第49-50页
   ·本章小结第50-51页
6 总结第51-53页
   ·结论第51页
   ·创新点第51-52页
   ·工作展望第52-53页
参考文献第53-59页
致谢第59-60页
攻读学位期间取得的科研成果清单第60页

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