| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-31页 |
| ·太阳能电池研究背景、现状及意义 | 第15-20页 |
| ·能源短缺的现实危机 | 第15-17页 |
| ·太阳能利用的状况和发展前景 | 第17页 |
| ·太阳能电池的特点和分类 | 第17-18页 |
| ·国内外太阳能电池的研究现状和进展 | 第18-20页 |
| ·硅基太阳能电池分类及研究现状 | 第20-22页 |
| ·硅基太阳能电池的分类 | 第20-21页 |
| ·硅基太阳能电池的研究现状 | 第21-22页 |
| ·当前硅基太阳能电池存在的问题及解决方案 | 第22-23页 |
| ·当前硅基太阳能电池存在的问题 | 第22页 |
| ·硅基太阳能电池存在的问题的解决方案 | 第22-23页 |
| ·当前硅基电池减反结构现状 | 第23-26页 |
| ·高效单晶硅电池减反结构 | 第23-24页 |
| ·高效多晶硅电池减反结构 | 第24-25页 |
| ·本论文研究的新型微纳减反结构 | 第25-26页 |
| ·本论文研究内容和结构 | 第26-31页 |
| ·论文的研究内容 | 第26-27页 |
| ·论文的结构安排 | 第27-31页 |
| 第二章 实验原理与实验设备及仿真软件 | 第31-39页 |
| ·实验室研究设备、薄膜的相关表征技术 | 第31-34页 |
| ·拉曼测试与分析原理 | 第31-32页 |
| ·X射线衍射测试晶粒尺寸(XRD)原理 | 第32页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第32-33页 |
| ·四探针(FTP)电阻测试仪 | 第33页 |
| ·紫外—可见光光谱(UV-VIS) | 第33页 |
| ·薄膜的光暗电导率 | 第33-34页 |
| ·OES谱(等离子体光谱) | 第34页 |
| ·仿真软件介绍 | 第34-37页 |
| ·AMPS-1D仿真软件 | 第34-36页 |
| ·OptiFDTD仿真软件 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 纳米硅薄膜的制备 | 第39-75页 |
| ·纳米薄膜制备的方法 | 第39-40页 |
| ·物理气相沉积方法 | 第39页 |
| ·化学气相沉积法 | 第39-40页 |
| ·纳米硅薄膜制备及其生长机理研究 | 第40-46页 |
| ·射频等离子体增强化学气相沉积法制备薄膜 | 第40-42页 |
| ·纳米硅薄膜生长机理分析 | 第42-46页 |
| ·纳米硅薄膜生长模型简述 | 第46页 |
| ·生长工艺条件对制备纳米硅薄膜的影响 | 第46-57页 |
| ·硅烷浓度对纳米硅薄膜整体性能以及特性的影响 | 第46-49页 |
| ·反应室压强对纳米硅薄膜整体性能以及特性的影响 | 第49-52页 |
| ·高频功率对纳米硅薄膜整体性能以及特性的影响 | 第52-54页 |
| ·衬底温度对纳米硅薄膜整体性能以及特性的影响 | 第54-57页 |
| ·纳米硅薄膜掺杂工艺的研究 | 第57-62页 |
| ·纳米硅薄膜掺硼工艺的研究 | 第57-60页 |
| ·纳米硅薄膜掺磷工艺 | 第60-62页 |
| ·纳米硅薄膜光学性能的研究 | 第62-63页 |
| ·纳米硅薄膜工艺参数对电池性能的影响仿真研究 | 第63-75页 |
| ·AMPS-1D仿真软件的主要物理模型 | 第63-66页 |
| ·渐变带隙薄膜电池结构参数的优化 | 第66-73页 |
| ·电池其它参数对性能的影响 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第四章 硅纳米线微纳减反结构设计、仿真与制备 | 第75-93页 |
| ·微纳减反结构设计的理论依据 | 第75-77页 |
| ·光在半导体材料中的传播与吸收过程 | 第75-77页 |
| ·硅纳米线微纳减反射结构模型设计、仿真 | 第77-81页 |
| ·纳米线减反射结构的几何模型 | 第77-78页 |
| ·硅纳米线微纳减反射结构的仿真 | 第78-81页 |
| ·硅纳米孔微纳减反射结构模型与仿真 | 第81-83页 |
| ·纳米孔微纳减反射结构的几何模型 | 第81-82页 |
| ·硅纳米孔微纳减反射结构的模型仿真 | 第82-83页 |
| ·微纳减反结构硅纳米线的制备 | 第83-91页 |
| ·体硅纳米线的制备 | 第84-87页 |
| ·薄膜硅纳米线的制备 | 第87-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 第五章 石墨烯复合薄膜微纳减反结构及电极的研究 | 第93-113页 |
| ·微纳结构的石墨烯复合薄膜减反射的理论依据 | 第93页 |
| ·石墨烯概况 | 第93-97页 |
| ·石墨烯简史 | 第93-94页 |
| ·石墨烯的基本特性 | 第94-97页 |
| ·石墨烯的制备方法 | 第97-100页 |
| ·石墨层间插层法 | 第97页 |
| ·微机械剥离法 | 第97页 |
| ·外延生长法 | 第97-98页 |
| ·化学气相沉积法 | 第98-99页 |
| ·胶体溶液法 | 第99-100页 |
| ·石墨烯制备的实验步骤和结果分析 | 第100-103页 |
| ·实验器材和实验步骤 | 第100-101页 |
| ·氧化石墨烯和石墨烯样品的表征 | 第101-103页 |
| ·石墨烯复合薄膜的制备 | 第103-111页 |
| ·试剂和仪器 | 第103-104页 |
| ·样品的制备 | 第104-105页 |
| ·测试与表征 | 第105页 |
| ·结果与讨论 | 第105-111页 |
| ·本章小结 | 第111-113页 |
| 第六章 两种新型微纳减反结构硅基太阳能电池的性能研究 | 第113-125页 |
| ·微纳构造对电池性能的影响 | 第113页 |
| ·硅纳米线微纳减反结构电池研究 | 第113-116页 |
| ·结构设计 | 第113页 |
| ·硅纳米线微纳减反结构电池的制备 | 第113-114页 |
| ·性能仿真测试 | 第114-116页 |
| ·基于石墨烯复合薄膜的纳米硅基渐变带隙电池的研究 | 第116-123页 |
| ·结构设计 | 第116页 |
| ·石墨烯复合薄膜的纳米硅基渐变带隙电池的制备 | 第116-118页 |
| ·纳米硅薄膜本征层性能表征以及电池性能测试 | 第118-122页 |
| ·结果与讨论 | 第122-123页 |
| ·本章小结 | 第123-125页 |
| 第七章 总结与展望 | 第125-129页 |
| ·总结 | 第125-126页 |
| ·展望 | 第126-129页 |
| 参考文献 | 第129-139页 |
| 致谢 | 第139-141页 |
| 攻读学位期间发表的论文和参研项目 | 第141页 |