| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·研究目的及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-11页 |
| ·本文的主要工作 | 第11-12页 |
| 2 激光冲击波驱动技术原理 | 第12-18页 |
| ·激光冲击波驱动原理 | 第12-16页 |
| ·靶材模型和牺牲层的选择 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 3 空气中的驱动仿真和实验 | 第18-35页 |
| ·实验方案设计 | 第18-21页 |
| ·低频激光冲击波驱动的仿真与实验 | 第21-29页 |
| ·高频激光冲击波驱动的仿真与实验 | 第29-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 水作为约束层时的仿真和实验 | 第35-50页 |
| ·实验方案设计 | 第35-37页 |
| ·激光冲击波驱动的实验和仿真 | 第37-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 5 MEMS 微器件的驱动实验 | 第50-56页 |
| ·激光冲击波驱动微小硅悬臂梁的实验 | 第50-52页 |
| ·激光冲击波驱动矩形硅制薄膜的实验 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·全文总结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第63页 |