| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-13页 |
| ·太阳电池研究背景 | 第10-11页 |
| ·晶体硅太阳电池产业化发展现状 | 第11-13页 |
| 第二章 冶金硅太阳电池基本原理和结构及生产工艺流程 | 第13-16页 |
| ·太阳电池基本原理和结构及生产工艺流程 | 第13页 |
| ·太阳电池的基本原理 | 第13页 |
| ·常规太阳电池的基本结构 | 第13页 |
| ·常规晶体硅太阳电池工艺流程 | 第13-16页 |
| ·常规丝网印刷技术简介 | 第13-14页 |
| ·冶金硅电池的制备工艺流程 | 第14-16页 |
| 第三章 生产设备、测试仪器和材料 | 第16-19页 |
| ·生产设备及测试仪器 | 第16页 |
| ·原始冶金硅片的参数和杂质含量 | 第16-19页 |
| 第四章 冶金硅太阳电池的在线生产工艺 | 第19-30页 |
| ·短时间液态源磷吸杂工艺 | 第19页 |
| ·磷吸杂工艺的作用和方法 | 第19页 |
| ·磷吸杂工艺参数 | 第19页 |
| ·漂洗硅片表面磷硅玻璃层 | 第19-22页 |
| ·设备 | 第19-20页 |
| ·电池的方块电阻(薄层电阻)和少子寿命测试 | 第20-22页 |
| ·冶金硅太阳电池的表面织构制备 | 第22-24页 |
| ·电池表面织构的制备(制绒) | 第22-23页 |
| ·制备表面织构的设备 | 第23页 |
| ·冶金多晶硅片表面织构形貌 | 第23-24页 |
| ·扩散制P-N结 | 第24-30页 |
| ·扩散制备P-N结原理 | 第24-25页 |
| ·POCl_3液态源扩散示意图和设备图 | 第25-26页 |
| ·冶金硅电池扩散方案的制定 | 第26-30页 |
| 第五章 太阳电池的电性能参数 | 第30-33页 |
| 第六章 冶金硅电池的性能在线测试和讨论 | 第33-38页 |
| ·冶金硅电池的在线性能测试 | 第33-37页 |
| ·冶金硅电池在线性能测试方案一 | 第33-35页 |
| ·批量生产冶金硅电池的在线性能测试 | 第35-37页 |
| ·冶金硅电池测试结果讨论 | 第37-38页 |
| 第七章 结论 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-40页 |
| 致谢 | 第40-41页 |
| 参加的科研课题及成果 | 第41页 |