| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第8-9页 |
| ·课题研究的背景 | 第8-9页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第9页 |
| ·课题相关国内外研究现状 | 第9-16页 |
| ·类金刚石薄膜的发展历史 | 第9-10页 |
| ·类金刚石薄膜的制备技术 | 第10-14页 |
| ·类金刚石薄膜的结构特性 | 第14页 |
| ·薄膜损耗 | 第14-16页 |
| ·研究内容 | 第16页 |
| ·课题来源 | 第16页 |
| ·研究的主要内容 | 第16页 |
| ·本文内容安排 | 第16-18页 |
| 2 研究方案及可行性分析 | 第18-24页 |
| ·技术路线 | 第18-19页 |
| ·可行性分析 | 第19-24页 |
| 3 薄膜吸收系数和组分的测试模型构建 | 第24-35页 |
| ·椭偏法测量原理 | 第24-29页 |
| ·椭偏法测试模型的建立 | 第29-34页 |
| ·EMA建模理论 | 第29-30页 |
| ·主要椭偏模型的测试 | 第30-33页 |
| ·验证椭偏模型准确性 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 模型验证分析研究 | 第35-46页 |
| ·光度法验证 | 第35-42页 |
| ·光度法原理 | 第35-36页 |
| ·粒子群优化算法反演运算透射光谱 | 第36-40页 |
| ·算法验证实验 | 第40-41页 |
| ·数据比较与模型验证 | 第41-42页 |
| ·组分分析对比验证 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 DLC薄膜损耗测试实验方案与结果分析 | 第46-61页 |
| ·样片的制备 | 第46-48页 |
| ·工艺参数的选择 | 第46-47页 |
| ·工艺流程 | 第47-48页 |
| ·单因素试验 | 第48-52页 |
| ·非平衡磁控溅射的单因素试验 | 第48-50页 |
| ·脉冲真空电弧技术的单因素试验 | 第50-52页 |
| ·多因素试验方案 | 第52-58页 |
| ·评价消光系数的正交实验设计 | 第53-56页 |
| ·评价薄膜化学成分的正交实验设计 | 第56-58页 |
| ·消光系数与sp~3/sp~2比例、折射率之间的关系 | 第58-59页 |
| ·DLC薄膜损耗特性分析 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 6 结论 | 第61-64页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |