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图案化氧化锌微纳结构的制备与表征

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-28页
   ·引言第10-12页
   ·纳米图案化研究现状第12-23页
     ·探针直写技术第13-14页
     ·光刻技术第14-17页
     ·纳米压印技术(NIL)第17-21页
     ·其他技术第21-23页
   ·选题意义及主要研究内容第23-28页
     ·选题意义第23-24页
       ·目前存在的主要问题第23页
       ·拟解决问题第23-24页
     ·主要研究内容第24-28页
第二章 结合纳米压印和溶胶凝胶技术构筑图案化ZnO 薄膜第28-42页
   ·引言第28-29页
   ·实验部分第29-35页
     ·压印模板的制备第29-32页
     ·阻挡层的选择与制备第32-33页
     ·热压印过程第33-35页
   ·结果与讨论第35-38页
   ·本章小结第38-42页
第三章 以PS 为模板利用热压印技术制备 ZnO 纳米阵列结构第42-58页
   ·引言第42页
   ·实验部分第42-44页
     ·利用膜层转移法制备PS 胶晶模板第43页
     ·聚二甲基硅氧烷(PDMS)的制备和PS 负型结构的复制过程第43-44页
     ·氧化锌溶胶的制备第44页
     ·热压印过程及后处理第44页
     ·样品的测试表征第44页
   ·结果与讨论第44-53页
     ·PS 单层模板组装机理分析第44-45页
     ·PS 胶晶阵列的表面形貌与光学分析第45-47页
     ·利用PDMS 复制PS 阵列后的表面形貌与分析第47-49页
     ·利用热压印技术构筑图案化ZnO 阵列第49-53页
   ·本章小结第53-58页
第四章 利用图案化种子层和低温水热法制备多种图案化纳米线阵列结构第58-71页
   ·引言第58-59页
   ·实验部分第59-61页
   ·实验结果与讨论第61-70页
     ·衬底温度对种子层的影响第61-63页
     ·种子层对ZnO 纳米棒生长的影响第63-65页
     ·制备图案化氧化锌纳米棒阵列第65-68页
     ·以PS 为模板制备孔状氧化锌薄膜第68-70页
   ·本章小结第70-71页
参考文献第71-74页
攻读学位期间发表的学术论文目录第74-76页
致谢第76-77页

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