复合量程微加速度计抗高过载技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1. 绪论 | 第9-17页 |
| ·研究课题背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·MEMS 加速度计可靠性研究现状 | 第11页 |
| ·高过载加速度计发展现状 | 第11-13页 |
| ·微加速度计阵列研究现状 | 第13-15页 |
| ·本文主要工作及安排 | 第15-17页 |
| 2. 高过载情况下失效机理的研究 | 第17-27页 |
| ·MEMS 器件失效的研究方法 | 第17-18页 |
| ·器件失效方法 | 第17-18页 |
| ·材料失效 | 第18页 |
| ·高过载情况下常见 MEMS 器件失效机理 | 第18-21页 |
| ·结构失效常见机理 | 第18-20页 |
| ·封装在过载环境中的重要性及失效机理进行介绍 | 第20页 |
| ·提高 MEMS 加速度计抗过载能力的建议 | 第20-21页 |
| ·复合量程微加速度计介绍 | 第21-22页 |
| ·加速度计在高过载情况下的响应及分析 | 第22-26页 |
| ·过载载荷模型 | 第22-23页 |
| ·复合量程微加速度计模型 | 第23-24页 |
| ·结构应力分析 | 第24-25页 |
| ·结构灵敏度分析 | 第25页 |
| ·固有频率分析 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3. 复合量程微加速度计抗高过载能力测试 | 第27-41页 |
| ·复合量程微加速度计动静态性能测试 | 第27-31页 |
| ·压阻参数测试 | 第27-28页 |
| ·0-10g 静态性能指标测试 | 第28-29页 |
| ·0-10g 动态性能指标测试 | 第29-31页 |
| ·复合量程微加速度计抗过载性能测试 | 第31-38页 |
| ·马歇特锤试验 | 第31-33页 |
| ·霍普金森杆试验 | 第33-36页 |
| ·复合量程微加速度计封装抗高过载能力测试 | 第36-38页 |
| ·复合量程微加速度计抗过载分析实验结果分析 | 第38-39页 |
| ·复合量程微加速度计抗高过载优化方案 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 4. 复合量程微加速度计结构抗高过载优化设计 | 第41-52页 |
| ·0-10g 复合量程微加速度计低量程结构的优化 | 第41-47页 |
| ·复合量程微加速度计低量程结构优化分析 | 第41-43页 |
| ·低量程结构静力学仿真分析 | 第43-44页 |
| ·低量程结构模态仿真分析 | 第44-45页 |
| ·低量程结构压阻电桥的布置及结构灵敏度 | 第45-47页 |
| ·低量程结构的抗高过载分析 | 第47页 |
| ·复合量程微加速度计高量程结构的优化分析 | 第47-51页 |
| ·复合量程微加速度计高量程结构的优化 | 第47-50页 |
| ·高量程结构压阻电桥的布置及结构灵敏度 | 第50-51页 |
| ·高量程结构的抗高过载分析 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5. 复合量程微加速度计抗过载封装设计 | 第52-63页 |
| ·封装工艺 | 第52-54页 |
| ·管壳选择 | 第52-53页 |
| ·贴片工艺 | 第53页 |
| ·引线键合 | 第53页 |
| ·灌封 | 第53页 |
| ·封冒 | 第53-54页 |
| ·封装设计及封装结构过载仿真 | 第54-62页 |
| ·封装结构介绍 | 第54页 |
| ·结构仿真 | 第54-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 6. 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·研究工作总结 | 第63页 |
| ·研究工作展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及取得的成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
