异端类型三坐标测量机结构原理及误差修正技术研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 致谢 | 第10-20页 |
| 第1章 绪论 | 第20-31页 |
| ·引言 | 第20-22页 |
| ·传统三坐标测量机(CMM) | 第22-24页 |
| ·移动桥式三坐标测量机 | 第22页 |
| ·龙门式三坐标测量机 | 第22-23页 |
| ·悬臂式三坐标测量机 | 第23-24页 |
| ·水平臂式三坐标测量机 | 第24页 |
| ·纳米三坐标测量机(NANO-CMM)发展现状 | 第24-29页 |
| ·纳米三坐标测量机特点 | 第24-25页 |
| ·国内外纳米三坐标测量机研究现状 | 第25-29页 |
| ·课题来源及本文主要内容 | 第29-31页 |
| ·课题研究来源 | 第29页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 现场环境下使用的三坐标测量机 | 第31-55页 |
| ·研究目的及意义 | 第31-33页 |
| ·测量机的总体设计 | 第33-39页 |
| ·测量机总体结构组成 | 第33-34页 |
| ·测量机机械运动导向系统 | 第34-36页 |
| ·测量机电气控制测量系统 | 第36-39页 |
| ·测量机的误差分析及修正模型 | 第39-49页 |
| ·测量机误差源分析 | 第39-43页 |
| ·齐次坐标变换 | 第43-45页 |
| ·传统的准刚性 21 项几何误差模型 | 第45-47页 |
| ·改进后的测量机几何误差模型 | 第47-48页 |
| ·附加非刚性修正项 | 第48-49页 |
| ·误差分离实验及修正结果 | 第49-55页 |
| ·直接法分离单项误差 | 第49-52页 |
| ·综合法检定误差 | 第52-53页 |
| ·修正结果 | 第53-54页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| 第3章 纳米三坐标测量机结构布局研究 | 第55-64页 |
| ·现有的纳米三坐标测量机结构及布局 | 第55-60页 |
| ·现有纳米三坐标结构特点介绍 | 第55-59页 |
| ·纳米三坐标的关键因素 | 第59-60页 |
| ·新型的纳米三坐标测量机“331”布局原则 | 第60-64页 |
| ·“331”原则结构系统组成 | 第60-62页 |
| ·测量机的不完善性对“331”结构的影响 | 第62-64页 |
| 第4章 基于“331”原则的纳米三坐标测量机 | 第64-83页 |
| ·纳米三坐标测量机结构系统 | 第64-70页 |
| ·测量机总体结构组成 | 第64-65页 |
| ·测量机测量系统简介 | 第65-67页 |
| ·纳米三维工作台研制 | 第67-70页 |
| ·测量机力平衡系统及隔振控温系统 | 第70-77页 |
| ·z 轴一维重锤力平衡系统 | 第71-72页 |
| ·二维游动力平衡系统 | 第72-76页 |
| ·测量机隔振控温系统 | 第76-77页 |
| ·测量机关键几何要素的装调 | 第77-83页 |
| ·激光测量线垂直度及共点调整 | 第77-78页 |
| ·x-y 反射镜垂直度调整 | 第78-80页 |
| ·三维工作台导轨测试实验 | 第80-83页 |
| 第5章 纳米三坐标测量机的误差分析与建模 | 第83-106页 |
| ·激光干涉仪波长稳定度误差 | 第83-87页 |
| ·测量机导轨运动误差 | 第87-94页 |
| ·x 轴直线度运动误差影响分析 | 第88-89页 |
| ·x 轴角运动误差影响分析 | 第89-91页 |
| ·x-y 测量平面内的运动误差影响 | 第91-93页 |
| ·z 轴运动误差 | 第93-94页 |
| ·激光反射镜误差 | 第94-96页 |
| ·反射镜平面度误差 | 第94-95页 |
| ·反射镜之间的垂直度误差 | 第95-96页 |
| ·力变形、热变形和测头误差 | 第96-101页 |
| ·测量机 x-y 平面内二维运动时导轨力变形影响 | 第96-97页 |
| ·测头系统安装悬臂力变形 | 第97-98页 |
| ·热变形误差 | 第98-100页 |
| ·测头瞄准误差 | 第100-101页 |
| ·测量机几何误差模型 | 第101-106页 |
| ·准刚体几何误差模型 | 第102-104页 |
| ·测量机几何误差总表达式 | 第104-106页 |
| 第6章 纳米三坐标测量机的误差分离与修正 | 第106-129页 |
| ·误差插值及数据拟合理论研究 | 第106-113页 |
| ·一维插值方法 | 第107-111页 |
| ·二维插值计算方法 | 第111-113页 |
| ·测量机机械零位及重复性实验 | 第113-117页 |
| ·测量机零位重复性测试 | 第113-114页 |
| ·运动台单轴运动重复性测试 | 第114-116页 |
| ·测头单方向单点测量重复性测试 | 第116-117页 |
| ·纳米三坐标测量机误差分离实验 | 第117-125页 |
| ·x、y 轴反射镜误差分离 | 第117-121页 |
| ·基于三次样条的 z 轴误差插值及修正方法 | 第121-125页 |
| ·测量机误差修正结果的比对实验 | 第125-129页 |
| ·z 向台阶高度测量 | 第125-126页 |
| ·x、y 向长度测量 | 第126-129页 |
| 第7章 总结与展望 | 第129-132页 |
| ·本论文主要工作总结 | 第129-131页 |
| ·研究成果总结 | 第129-130页 |
| ·本文创新点 | 第130-131页 |
| ·研究工作展望 | 第131-132页 |
| 参考文献 | 第132-138页 |
| 攻读博士学位期间发表论文、专利与获奖 | 第138页 |
